蔭影柵、控制柵光刻加工工藝的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、如今，脈沖行波管在Ku和Ka波段向小型化和微波功率模塊發(fā)展。這就需要非常精確的蔭影柵和控制柵來制造小型的網(wǎng)格型柵控電子槍。我們傳統(tǒng)的方法為球冠成型后用電火花方法加工。但是，由于Ku和Ka波段的柵網(wǎng)尺寸較小，電火花電極難以加工且柵網(wǎng)輪輻的邊緣毛刺較大從而導(dǎo)致電子槍部位的高壓打火。因此，我們選用光刻的工藝加工蔭影柵和控制柵。
　　 在經(jīng)過仔細(xì)的研究之后，我們結(jié)合半導(dǎo)體的基本工藝過程以及柵網(wǎng)的實(shí)際結(jié)構(gòu)，尋找特殊點(diǎn)并鑒別不同處，我們克服

2、了種種困難，最終微電子的光刻工藝成功運(yùn)用到我們的柵網(wǎng)加工中。我們制造出了小型的蔭影柵和控制柵，其尺寸和形狀滿足設(shè)計(jì)需求。與國外同類的柵網(wǎng)進(jìn)行了比較，并最終裝入電子槍，測量了電子槍靜態(tài)的注流通率。試驗(yàn)表明電火花柵網(wǎng)的注流通率只有80％，而光刻加工的柵網(wǎng)的注流通率達(dá)到90％以上。由此可見我們制造小型柵網(wǎng)的方法是有效的，且可以應(yīng)用于柵控電子槍。
　　 通過課題研究，成功解決了小型柵網(wǎng)的加工難題。光刻加工的柵網(wǎng)優(yōu)于電火花加工的柵網(wǎng)。尤其

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