微型紅外光譜儀中探測(cè)器陣列及接收系統(tǒng)的研究.pdf

1、作為一種典型微型光機(jī)電系統(tǒng)——微型光譜儀器，具有許多大型光譜儀器所不具備的優(yōu)點(diǎn)，并有著廣泛的應(yīng)用范圍。因此，微型光譜儀器的研制已成為微型光機(jī)電系統(tǒng)的一個(gè)重要研究熱點(diǎn)。同時(shí)，為了實(shí)現(xiàn)微型光譜儀器的實(shí)用化，有必要研制與之相配套的信號(hào)采集和顯示處理系統(tǒng)，提高整個(gè)系統(tǒng)的性?xún)r(jià)比。 本論文以北京卓立漢光儀器有限公司定制的60mm焦距光譜儀分光系統(tǒng)為基礎(chǔ)，以近紅外光譜儀的接收系統(tǒng)為研究對(duì)象，主要完成微型光譜儀的集成，其中包括探測(cè)元件InGaA

2、s探測(cè)器陣列的研制以及基于單片機(jī)系統(tǒng)的光譜信號(hào)采集和顯示電路等。總體來(lái)看，本論文的研究工作主要集中在以下幾個(gè)方面： 1.優(yōu)化單項(xiàng)工藝條件，為制作探測(cè)器陣列提供基礎(chǔ)。研究Si3N4擴(kuò)散掩蔽層的制備和腐蝕條件，并分析S13N4腐蝕速率與其生長(zhǎng)條件的關(guān)系；研究閉管Zn擴(kuò)散制作P型區(qū)，優(yōu)化擴(kuò)散溫度和擴(kuò)散時(shí)間；研究測(cè)量擴(kuò)散結(jié)深度的方法；掌握制備探測(cè)器陣列時(shí)關(guān)鍵的擴(kuò)散工藝。 2.完成探測(cè)元件InGaAs探測(cè)器陣列的研制，制作出32×