分層微細(xì)電鑄基礎(chǔ)研究及裝置設(shè)計.pdf

1、微細(xì)制造技術(shù)被廣泛地認(rèn)為是21世紀(jì)最重要的技術(shù)之一。隨著微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的發(fā)展，對微機(jī)構(gòu)所提出的要求也越來越高，高深寬比微細(xì)結(jié)構(gòu)就是其中關(guān)鍵之一。一種分層電化學(xué)（電沉積）制造技術(shù)（EFAB）可以直接、快速、批量生產(chǎn)出復(fù)雜的高深寬比三維微細(xì)金屬結(jié)構(gòu)，與其它機(jī)械加工相比，具有較好的經(jīng)濟(jì)性。但是EFAB制造高深寬比三維微細(xì)金屬存在著材料單一、質(zhì)量不穩(wěn)定、生產(chǎn)效率低等缺點(diǎn)，這嚴(yán)重制約了EFAB及高深寬比三維金屬結(jié)構(gòu)的應(yīng)用。本文針對這些問題

2、，提出了改進(jìn)方案，形成了一種新的分層電鑄技術(shù)。并通過理論分析和試驗，對該工藝進(jìn)行了基礎(chǔ)性研究。本文主要研究了以下四個方面的內(nèi)容： 1、首先調(diào)查了國內(nèi)外高深寬比微細(xì)結(jié)構(gòu)制造技術(shù)的現(xiàn)狀與發(fā)展，著重介紹了EFAB加工技術(shù)。在此基礎(chǔ)上，提出改進(jìn)技術(shù)措施，形成了基于EFAB的新的分層電鑄技術(shù)。 2、專用于EFAB的數(shù)控機(jī)床研發(fā)，機(jī)床具有結(jié)構(gòu)簡單、成本低、擴(kuò)展性好的特點(diǎn)，能夠較好地滿足工藝試驗的要求。 3、利用Lab VIE