分層微細電鑄基礎研究及裝置設計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、微細制造技術被廣泛地認為是21世紀最重要的技術之一。隨著微機電系統(tǒng)（MEMS）的發(fā)展，對微機構所提出的要求也越來越高，高深寬比微細結構就是其中關鍵之一。一種分層電化學（電沉積）制造技術（EFAB）可以直接、快速、批量生產出復雜的高深寬比三維微細金屬結構，與其它機械加工相比，具有較好的經濟性。但是EFAB制造高深寬比三維微細金屬存在著材料單一、質量不穩(wěn)定、生產效率低等缺點，這嚴重制約了EFAB及高深寬比三維金屬結構的應用。本文針對這些問題

2、，提出了改進方案，形成了一種新的分層電鑄技術。并通過理論分析和試驗，對該工藝進行了基礎性研究。本文主要研究了以下四個方面的內容： 1、首先調查了國內外高深寬比微細結構制造技術的現(xiàn)狀與發(fā)展，著重介紹了EFAB加工技術。在此基礎上，提出改進技術措施，形成了基于EFAB的新的分層電鑄技術。 2、專用于EFAB的數(shù)控機床研發(fā)，機床具有結構簡單、成本低、擴展性好的特點，能夠較好地滿足工藝試驗的要求。 3、利用Lab VIE

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