智能控制在潔凈室環(huán)境控制中的應用.pdf

1、隨著半導體行業(yè)的快速發(fā)展，而且國外很多電子公司均在國內(nèi)設立了分支生產(chǎn)基地。再加上國內(nèi)很多企業(yè)也加入了這個朝陽產(chǎn)業(yè)。所以，現(xiàn)在有很多的電子潔凈廠房在中國相繼建立起來。由于潔凈廠房和普通廠房有很大區(qū)別，首先在廠房結構和選材上，但是一旦廠房建成后，不需任何控制。其次在空調(diào)系統(tǒng)有所不同，潔凈室環(huán)境根據(jù)不同的產(chǎn)品也有所不同。他對房間的溫度和濕度有很高的要求。目前很有必要對潔凈環(huán)境進行有效的控制，以達到半導體環(huán)境的高要求。 目前，一般電子廠

2、有下列幾道工序，原材料晶圓片經(jīng)切割、塑封, 引腳切筋、打彎、測試等工序之后成品出廠。在生產(chǎn)過程中，如果廠房潔凈度不高，粒子如果過多，將增加空氣的導電性，將會擊穿電子芯片。一旦溫度或濕度不再可控范圍會影響到靜電和芯片變形。 所以，對于一個理想的潔凈廠房控制系統(tǒng)來講，它應該具有高的可靠性、精確性和可適應性，并且在外界干擾的情況下，盡快回到控制范圍內(nèi)。因此，我們認為潔凈廠房控制的研究是十分有必要的。 潔凈室空調(diào)一般分為處理室外

3、空氣的新風機組和控制室內(nèi)溫室度的空氣處理機組。潔凈室的新風系統(tǒng)由兩用一備三臺新風機組來供給。此系統(tǒng)能保持潔凈室相對于室外大氣的正壓,補充工藝設備的排氣及維持潔凈內(nèi)要求的溫度和相對濕度。潔凈區(qū)域通過裝有高效過濾器的空氣處理機組來循環(huán)空氣去處粒子和消除室內(nèi)的熱負荷。 目前，在世界上通常的做法為：用PID控制器來作為主要控制器。他在要求不是特別高的時候，可以起到很好的效果。但是，響應速度和控制精度很難滿足半導體晶元生產(chǎn)環(huán)境的要求。所以

4、，我們在環(huán)境控制系統(tǒng)中引入了模糊PID控制系統(tǒng)并結合PLC控制器?？梢愿每刂茲崈羰业臏貪穸?，以及半導體生產(chǎn)所需的環(huán)境。模糊自調(diào)整PID控制是運用模糊數(shù)學的基本理論和方法，把規(guī)則的條件、操作用模糊集表示，并把這些模糊控制規(guī)則以及有關信息（如價指標、初始PID參數(shù)等）作為知識存入計算機知識庫中，運用模糊推理，即可自動對PID參數(shù)的最佳調(diào)整。 本文對這兩種方法進行了深入的分析，并研究了如何在MATLAB/SIMULINK軟件建立矢量