iso14644-1-潔凈室及相關(guān)控制環(huán)境國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

1、潔凈室及相關(guān)控制環(huán)境國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)潔凈室及相關(guān)控制環(huán)境國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644ISO14644前言ISO為全球各國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化團(tuán)體（ISO會(huì)員團(tuán)體）的聯(lián)合會(huì)。其國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)工作一般是由ISO各技術(shù)委員會(huì)執(zhí)行。每個(gè)會(huì)員團(tuán)體若對(duì)技術(shù)委員會(huì)的某一課題感興趣，均有權(quán)作為此技術(shù)委員會(huì)的代表。任何與ISO保持聯(lián)系的國(guó)際組織，無(wú)論是政府的還是非政府的組織，同樣可參加此項(xiàng)工作。ISO與國(guó)際電氣技術(shù)委員會(huì)（IEC）在電氣技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化方面進(jìn)行緊密合作。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)草案由其技術(shù)委

2、員會(huì)認(rèn)可后送各會(huì)員團(tuán)體進(jìn)行傳閱，以待表決。草案作為國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)頒布至少需要75%的會(huì)員團(tuán)體投贊成票。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO146441由ISOTC209潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境技術(shù)委員會(huì)提出。ISO14644在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的總標(biāo)題下，由下述各部分組成：第1部分：空氣潔凈度等級(jí)劃分第2部分：為認(rèn)證與ISO146441連續(xù)的相符性的測(cè)試和監(jiān)測(cè)技術(shù)要求第3部分：計(jì)量和測(cè)試方法第4部分：設(shè)計(jì)、施工和啟動(dòng)第5部分：運(yùn)行第6部分：術(shù)語(yǔ)和定義第7部分：增強(qiáng)的

3、潔凈裝置用戶應(yīng)注意，第2至第7部分的標(biāo)題為第1部分發(fā)行時(shí)的工作標(biāo)題。如果從工作計(jì)劃中刪除了一部分或幾部分，剩余部分可以重新編寫(xiě)。附錄B和C為ISO14644的組成部分，附錄A、D、E和F僅作資料用。潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境—第1部分：空氣潔凈度的分級(jí)1范圍范圍ISO14644的本部分是根據(jù)空氣中懸浮粒子濃度來(lái)劃分潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級(jí)。只有在0.1μm5μm的閾值（低于閾值）粒徑范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群體才可供分級(jí)用。ISO

4、14644的本部分不包含0.1μm5μm規(guī)定粒徑范圍以外的粒子群體的分級(jí)。超微粒子（＜0.1μm）和大粒子（＞5μm）可分別以U描述符和M描述符來(lái)量化粒子群體。ISO14644的本部分不能用于表征懸浮粒子的物理性、化學(xué)性、放射性或生存性。注粒徑遵紀(jì)守法增范圍內(nèi)粒子濃度的實(shí)際分布情況通常是不可預(yù)測(cè)的，并且是隨著時(shí)間而變化的。2定義定義下述定義適用于ISO14644的本部分2.1通則2.1.1潔凈室:空氣懸浮粒子濃度受控的房間、房間的建設(shè)和

5、使用方式要盡可能減少室內(nèi)引入、產(chǎn)生和滯留粒子，室內(nèi)其它相關(guān)參數(shù)如溫度、濕度和壓力按要求進(jìn)行控制。2.1.2潔凈區(qū):懸浮粒子濃度受控的限定空間?？臻g的建設(shè)和使用方式要盡可能減少區(qū)內(nèi)引入、產(chǎn)生和滯留粒子，空間內(nèi)其它相關(guān)參數(shù)如溫度、濕度和壓力按要求進(jìn)行控制。注：該區(qū)可以是開(kāi)放式或是密閉式，可以位于或不位于潔凈室內(nèi)。2.1.3設(shè)施:潔凈室或一個(gè)或多個(gè)潔凈區(qū)，連同所有相關(guān)的構(gòu)筑物、空氣處理系統(tǒng)、動(dòng)力和公用設(shè)施。2.1.4分級(jí):適用于一個(gè)的懸浮粒子

6、潔凈度等級(jí)（或規(guī)定或確定該等級(jí)的過(guò)程），以ISO等級(jí)N來(lái)表示，它表示所考慮的粒徑的最大允許濃度（以pcm3空氣計(jì)）。注1此濃度用3.2中的公式（1）確定。注2按照本國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行分級(jí)，限定在ISO1級(jí)至ISO9級(jí)。注3適用于按本國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分級(jí)的粒徑（低閾值）范圍限于0.1μm5μm。分級(jí)范圍之外的閾值粒徑之空氣潔凈度可以用U或M描述符（見(jiàn)2.3.1或2.3.2）來(lái)說(shuō)明和規(guī)定（但不是分級(jí)）。注4ISO分級(jí)可以規(guī)定中間等級(jí)號(hào)，用最小允許遞增值0