PVD涂層與輔助工藝研究.pdf

1、上世紀(jì)六十年代末，刀具涂層技術(shù)問世，刀具的綜合性能因此得到了大幅度地提高，特別是經(jīng)過PVD涂層的高速鋼刀具，其既獲得了具有更高耐磨性和紅硬性的表面，又保持了高速鋼所具有的韌性。涂層的應(yīng)用極大地提高了刀具的加工能力和使用壽命，為現(xiàn)代機(jī)械加工制造業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展提供了必要的技術(shù)基礎(chǔ)。
　　 涂層技術(shù)在刀具領(lǐng)域的成功應(yīng)用，引起了世界各國制造業(yè)的高度重視，人們競相開發(fā)高性能的涂層、高可靠性的涂層設(shè)備，而對涂層輔助工藝的研究缺乏重視。探討涂

2、層的性能特征及其影響因素，并研究如何通過輔助處理工藝來改善、提高現(xiàn)有技術(shù)基礎(chǔ)上的涂層性能，對于涂層技術(shù)的發(fā)展、應(yīng)用以及保持涂層質(zhì)量的穩(wěn)定性有著重要的借鑒與指導(dǎo)意義。涂層技術(shù)主要有CVD和PVD，本文著重研究了PVD涂層的性能指標(biāo)及其輔助工藝，具體內(nèi)容如下：
　　 ⑴PVD涂層的性能指標(biāo)與檢測方法研究。本文論述了結(jié)合力、厚度、表面粗糙度、硬度、涂層內(nèi)應(yīng)力等PVD涂層的性能參數(shù)并分析了相應(yīng)的檢測方法。
　　 ⑵PVD涂層輔助

3、工藝對涂層性能的影響。PVD涂層輔助工藝有清洗、退涂、毛刺清理、脫氣、噴砂、拋光、裝卡等。這些輔助工藝對涂層的“后天“特性如結(jié)合力、厚度、表面粗糙度、外觀等有著及其顯著的影響。本文深入地研究了這些輔助工藝的工藝方法、特點(diǎn)并探討了如何運(yùn)用這些輔助工藝方法來改善PVD涂層的性能。
　　 ⑶應(yīng)用案例研究。通過兩個(gè)典型案例，從質(zhì)量缺陷的發(fā)現(xiàn)及確認(rèn)，正確選擇輔助工藝及其工藝參數(shù)，改善試驗(yàn)與驗(yàn)證效果，說明了通過涂層輔助工藝改善質(zhì)量的過程，同