雙層輝光等離子滲技術(shù)制備Al2O3防氚滲透涂層.pdf

1、氚滲透是聚變堆材料所面臨的難題之一，為制備出質(zhì)量?jī)?yōu)異的防氚滲透涂層以避免氚所造成的環(huán)境污染，本論文采用雙層輝光等離子滲技術(shù)，利用先滲鋁后滲氧的方法在316L不銹鋼表面制備Al2O3防氚滲透涂層。
　　 通過掃描電子顯微鏡（SEM）、能譜儀（EDS）、X射線衍射儀（XRD）等表征了鋁滲層和Al2O3涂層的形貌和相結(jié)構(gòu)組成，其耐腐蝕性能、結(jié)合性能、抗熱震性能和摩擦學(xué)性能分別采用電化學(xué)工作站、劃痕儀、熱震試驗(yàn)和球盤式摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)來檢

2、測(cè)。
　　 研究表明：滲鋁層致密，滲層與基體之間形成了冶金結(jié)合，耐腐蝕性能和抗熱震性能優(yōu)異。滲鋁的最佳工藝參數(shù)為氣壓35Pa，源極電壓850V，工件電壓300V，極間距15mm，時(shí)間3h。在此最佳工藝參數(shù)基礎(chǔ)上所制備的Al2O3涂層質(zhì)量良好，與基體為冶金結(jié)合，涂層內(nèi)部呈多層結(jié)構(gòu)，在與基體的結(jié)合面附近形成了高氧含量的內(nèi)層，涂層中同時(shí)包含α-Al2O3,γ-Al2O3和θ-Al2O3三種相。Al2O3涂層結(jié)合力達(dá)38N以上，并具有優(yōu)