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文檔簡介
1、本論文基于濺射生長薄膜的基本理論,圍繞3英寸藍寶石上CeO<,2>緩沖層的制備工藝以及YBCO超導(dǎo)薄膜的生長問題作系統(tǒng)的研究.實驗采用在藍寶石和YBCO之間插入一層緩沖層來阻止兩者之間的相互擴散,拉近二者間大的晶格和熱膨脹系數(shù)差異.本文倚此思路,進行了如下的研究工作:1.采用自制的3英寸四靶濺射設(shè)備,研究CeO<,2>薄膜生長工藝參數(shù)(例如基片溫度,沉積速率,濺射氣氛,以及薄膜膜厚)對薄膜性質(zhì)的影響.2.結(jié)合基片調(diào)速雙軸旋轉(zhuǎn),在2-3英
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