氧化鋅陶瓷靶材的制備.pdf

1、ZnO（Zinc Oxide）是II-VI 族具有纖鋅礦結(jié)構(gòu)的直接帶隙半導(dǎo)體材料，晶體類型為六角柱結(jié)構(gòu)。ZnO 禁帶寬度為3.34eV，在氫等離子體中具有很高的穩(wěn)定性，而且Zn 儲(chǔ)量豐富、無毒，具有適宜的光電特性，是極具競(jìng)爭(zhēng)力的透明導(dǎo)電膜材料。 本文以ZnO 粉末和Al2O3 粉末為主要原料，以常壓、空氣氣氛燒結(jié)為手段制備透明導(dǎo)電膜用ZnO 陶瓷靶材。系統(tǒng)研究了粉末成型壓力、Al2O3 摻雜量、Al 摻雜量、燒結(jié)工藝等因素對(duì)Zn

2、O 陶瓷靶材電學(xué)、物理性能以及顯微形貌的影響規(guī)律。研究結(jié)果表明： 1、粉末成型壓力為3MP 時(shí)，靶材電學(xué)性能最佳； 2、當(dāng)Al:Zn 原子比為4.0:100 時(shí)，ZnO 的電阻率最低，達(dá)4.1×10－3 ? ·㎝，當(dāng)Al 摻雜量超過某一數(shù)值后，Al 不再以替位離子形式存在，而是與周圍的Zn、O 原子共同作用，生成鋅鋁尖晶石相，從而導(dǎo)致材料的電阻率升高。 3、在1350℃時(shí)，表面形貌上靶材表面晶粒間結(jié)合的致密。從斷