精密激光測距光學(xué)及采集系統(tǒng)設(shè)計(jì).pdf

1、隨著現(xiàn)代制造技術(shù)精度的不斷提高，發(fā)展納米測量技術(shù)，建立納米計(jì)量測試標(biāo)準(zhǔn)成為計(jì)量與測試技術(shù)中十分重要的課題.納米測量技術(shù)是隨著納米及微米技術(shù)的發(fā)展而誕生的一門新興學(xué)科，無論在精細(xì)機(jī)械加工與微型機(jī)電系統(tǒng)，還是在物理精密測量領(lǐng)域上，納米測量技術(shù)都有著廣泛的應(yīng)用. 現(xiàn)在能夠?qū)崿F(xiàn)納米測量的方法主要有：電感電容測微儀、x射線干涉儀、外差式激光干涉儀、計(jì)量型掃描探針顯微鏡。本論文重點(diǎn)探討了在納米測量技術(shù)領(lǐng)域目前常用的雙頻激光外差干涉儀: (1)

2、在選題階段掌握和理解了各種激光外差干涉儀的光路結(jié)構(gòu)和應(yīng)用范圍。提出了采用聲光頻移器的全光纖外差測距方法。 (2)完成了干涉儀系統(tǒng)的光學(xué)參數(shù)設(shè)計(jì)，包括激光器功率，偏振度，線寬要求，同光路的設(shè)計(jì)原因和理論推導(dǎo)，并進(jìn)行了干涉儀的光路調(diào)整和測量實(shí)驗(yàn)； (3)設(shè)計(jì)了基于PCI－6221數(shù)據(jù)采集卡的，采用定時(shí)采集的函數(shù)，以vc作為語言的界面設(shè)計(jì)初步模型； (4)對設(shè)計(jì)的各項(xiàng)光學(xué)參數(shù)（包括激光器功率，偏振度，線寬要求）進(jìn)行了