2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
已閱讀1頁,還剩98頁未讀, 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權,請進行舉報或認領

文檔簡介

1、微機電系統(tǒng)是指集微型結構、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及相應的信號處理控制電路等于一體的微型器件或系統(tǒng),它是機械、材料、信息與自動控制等多種學科相結合的產(chǎn)物.在微型執(zhí)行器中,通常采用靜電電動機作為微機械動力構件,它負責將電信號轉換成機械運動,其體積大小和性能優(yōu)劣直接影響到MEMS的整體品質(zhì).該文介紹了微機電系統(tǒng)和靜電電動機的國內(nèi)外最新的研究動態(tài)及其發(fā)展趨勢,介紹了微機電系統(tǒng)的基礎理論,并重點介紹了微機械制造技術.通過對經(jīng)典駐極體電動機進行結

2、構改造,提出了扁平駐極體微電機的模型,它具有經(jīng)典駐極體微電機無法比擬的優(yōu)點.扁平駐極體微電機采用頂驅(qū)動型結構設計,此結構電動機的輸出轉矩比側驅(qū)動型靜電電動機要大.扁平駐極體微電機的工作原理是電容可變原理,電機轉子采用駐極體材料制成,轉子表面電荷的衰減時間常數(shù)要比駐極體本身形成的周期長得多.該文基于靜電學原理,進行了扁平駐極體微電機的建模,對其定轉子間的靜電力進行分析,導出了單定子微型靜電電機系列的輸出轉矩計算公式,完成了雙定子扁平駐極體

3、微電機的設計,給出了2極-2極扁平駐極體微電機的輸出力矩計算公式.此外,運用ANSYS軟件及其APDL編程語言實現(xiàn)了雙定子扁平駐極體微電機定轉子間靜電場的有限元分析,得到了電機轉子在靜電場中受到的旋轉驅(qū)動力,并將其與電機輸出轉矩的理論值進行了比較分析,其結果同理論值基本一致.最后,通過將雙定子扁平駐極體微電機與磁力泵進行比較,探討了其作為駐極體微泵的可能性和優(yōu)勢,并研究了其作為微型芯片冷卻風扇的應用.扁平駐極體微電機是未來微型執(zhí)行器的較

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論