漂移量靶標(biāo)反饋激光自準(zhǔn)直系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù).pdf

1、隨著超精密加工、微電子、微光學(xué)、微機(jī)械集成制造和空間探測等技術(shù)的迅速發(fā)展，對(duì)超精密工作臺(tái)的小角度測量精度和穩(wěn)定性提出了更高的要求。傳統(tǒng)的激光CCD自準(zhǔn)直儀只能滿足一般精度的角度測量問題，對(duì)于超精密工作臺(tái)的小角度測量，則由于激光光束角漂移量的影響，使得測量精度難以提高。因此，開發(fā)和研制一種高精度高穩(wěn)定性的超精密激光自準(zhǔn)直測量系統(tǒng)迫在眉睫。
　　課題“漂移量靶標(biāo)反饋激光自準(zhǔn)直系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)”，目的就是探討研究一種高穩(wěn)定性的超精密激光自準(zhǔn)

2、直小角度測量方法，所涉及到的理論、方法以及若干關(guān)鍵技術(shù)，具體如下：
　　從漂移量產(chǎn)生的機(jī)理入手，分析了各種漂移之間的內(nèi)在聯(lián)系以及對(duì)自準(zhǔn)直測量的影響。在此基礎(chǔ)上，提出了一種基于閉環(huán)反饋控制思想的激光CCD自準(zhǔn)直小角度測量方法。利用分光式靶標(biāo)探測器實(shí)現(xiàn)激光束角漂移量的實(shí)時(shí)分離，結(jié)合閉環(huán)反饋控制技術(shù)可實(shí)現(xiàn)高穩(wěn)定性高精度小角度測量。
　　對(duì)構(gòu)成系統(tǒng)的自準(zhǔn)直光學(xué)測量系統(tǒng)、分光式靶標(biāo)探測器、角漂移量監(jiān)測裝置以及微轉(zhuǎn)角工作臺(tái)閉環(huán)控制系統(tǒng)等

3、組成部分的特性進(jìn)行了研究。研制了基于四象限光電探測器的光電檢測電路，用于光束角漂移的實(shí)時(shí)監(jiān)測；設(shè)計(jì)的柔性鉸鏈微轉(zhuǎn)角工作臺(tái)，實(shí)現(xiàn)了壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器線位移向柔性鉸鏈角位移的轉(zhuǎn)換；通過完成系統(tǒng)辨識(shí)及參數(shù)整定獲取增量式PID控制算法的控制參數(shù)，并且在VisualC++環(huán)境下完成包括光電信號(hào)采集及處理程序、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)程序、PID控制算法子程序等的系統(tǒng)軟件開發(fā)。
　　論文最后，對(duì)系統(tǒng)的各個(gè)主要組成部分進(jìn)行了性能測試和實(shí)驗(yàn)研究，測試和分析了壓電