適用于無軸承薄片電機的位移傳感器的研究.pdf

1、無軸承薄片電機結構簡單、可靠性高，特別是其無接觸、無磨損的特性，使無軸承薄片電機在超潔凈驅動領域具有應用優(yōu)勢。無軸承薄片電機總體成本中，所占比例最大的為傳感器。為了降低成本，使其盡快地應用到實際生產中，本文對適用于無軸承薄片電機的低成本霍爾位移傳感器及高性能電渦流位移傳感器進行了研究。 本文研究的霍爾位移傳感器分為閉合式與開路式兩類。對閉合式霍爾位移傳感器進行了理論推導，并利用有限元分析軟件ANSYS進行了電磁場仿真，在增大固定

2、氣隙的基礎上改善了一類霍爾位移傳感器的線性度，實驗結果顯示工作性能良好。在簡化閉合式霍爾位移傳感器結構的基礎上得到了開路式霍爾位移傳感器的設計思路，對磁場分布進行了電磁場仿真，并通過實驗測量確定了開路式霍爾位移傳感器結構中關鍵部件的設計尺寸。另外研究了霍爾位移傳感器的動態(tài)特性，研究表明該傳感器在20KHz的振動頻率下基本不存在失真。 本文研究的電渦流位移傳感器采用了變頻調幅方式的前置器以及市場上現(xiàn)有的電渦流探頭。分析了電渦流位移