微細(xì)陣列軸孔的電火花和電化學(xué)加工工藝研究.pdf

1、隨著微細(xì)加工和納米科學(xué)與技術(shù)的發(fā)展,以形狀尺寸小、操作尺寸小為特征的微機(jī)械已成為人們?cè)谖⒂^領(lǐng)域認(rèn)識(shí)世界和改造客觀世界的一種高新技術(shù)。在航空航天、電子、光導(dǎo)纖維以及辦公自動(dòng)化設(shè)備、圖像顯示器、醫(yī)療器械、液壓元件等工業(yè)領(lǐng)域中,以陣列微小型孔為關(guān)鍵結(jié)構(gòu)的零部件的使用越來(lái)越頻繁,孔徑尺寸越來(lái)越小,精度要求越來(lái)越高,例如光纖連接器、化纖噴絲板、電子顯微鏡光柵、打印機(jī)噴墨孔陣列,以及微噴嘴、微泵中的陣列孔微細(xì)結(jié)構(gòu)等?？梢?先進(jìn)工業(yè)技術(shù)和前沿學(xué)科的發(fā)

2、展迫切需要微細(xì)陣列孔加工技術(shù)的支持。國(guó)外發(fā)達(dá)國(guó)家已經(jīng)在這個(gè)領(lǐng)域投入了大量的資金和人力,取得了很好的成果,而在國(guó)內(nèi),這方面的研究非常的少,技術(shù)相對(duì)落后,特別是在陣列孔加工方面,基本上是處于空白階段。因此,展開這個(gè)領(lǐng)域的研究具有極其重要的戰(zhàn)略意義和很好的應(yīng)用前景。本文主要對(duì)微細(xì)陣列軸孔的電火花和微細(xì)電化學(xué)加工工藝進(jìn)行了分析和研究。首先設(shè)計(jì)了兩種微細(xì)陣列電極的制作工藝方法：線切割法和反拷貝法。分別用這兩種工藝方法加工出3×3至10×10系列微

3、細(xì)陣列電極,大小在20μm~90μm,在此過(guò)程中反拷貝法采用降低開路電壓、電容的方法,而線切割法采取降低開路電壓、加工電流、進(jìn)給速度和減小工作液沖擊等方法,獲得了質(zhì)量較好的微細(xì)陣列電極。然后用該系列陣列電極分別利用微細(xì)電化學(xué)加工和微細(xì)電火花加工兩種工藝方法進(jìn)行陣列孔加工,并在加工過(guò)程中采用適度間歇抬刀、低壓循環(huán)流動(dòng)工作液沖刷加工等方法很好地解決了微弧放電、排屑、加工區(qū)溫度過(guò)高等等難題。獲得了質(zhì)量較好的大小30μm~100μm相應(yīng)的陣列孔