電容傳感微小孔徑測(cè)量方法的研究.pdf

1、孔徑測(cè)量是幾何量測(cè)量中的一項(xiàng)重要內(nèi)容，其特點(diǎn)是測(cè)量器具活動(dòng)空間受到限制，操作調(diào)整不便，測(cè)量速度慢，特別是深小孔、盲小孔(直徑在φ3mm以下)的測(cè)量難度更大。電容傳感器是基于非接觸測(cè)量原理的一項(xiàng)技術(shù)，應(yīng)用電容傳感器測(cè)量小孔內(nèi)徑不僅測(cè)量時(shí)無(wú)測(cè)量力的影響；而且還可以獲知深小孔、盲小孔內(nèi)任意截面的形狀誤差。但是，電容傳感微小孔徑測(cè)量方法作為一項(xiàng)較新技術(shù)，仍需要對(duì)整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行深入研究。在本文中，首先研究電容傳感微小孔徑測(cè)量系統(tǒng)的原理，分析了傳

2、感器測(cè)頭中的保護(hù)環(huán)的最小長(zhǎng)度b<,最小>的確定問(wèn)題，提出了φ3mm左右的電容傳感器的設(shè)計(jì)與制作方法；接著基于JYC-2005型電容測(cè)微儀組建了電容傳感測(cè)孔系統(tǒng)、編寫(xiě)了測(cè)量軟件，并對(duì)系統(tǒng)的誤差進(jìn)行了分析，給出了,；iv31"12Ill左右測(cè)孔傳感器的標(biāo)定方法；最后驗(yàn)證了測(cè)孔系統(tǒng)具有穩(wěn)定的可靠性，長(zhǎng)期測(cè)量時(shí)內(nèi)徑偏差可控制在2-3μm以下。 本文就φ3mm左右小孔內(nèi)徑的測(cè)量提出了一種成本較低廉、操作較簡(jiǎn)便的方法，為后續(xù)研究更小孔徑的測(cè)