基于超分辨圖像復(fù)原的顯微圓孔孔徑測量方法.pdf

1、隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)和工業(yè)技術(shù)的發(fā)展，微孔器件越來越廣泛地被用于在航空、電子、儀表、生物醫(yī)療以及紡織等工業(yè)領(lǐng)域中。
　　數(shù)字顯微圖像測量是重要的微孔孔徑非接觸測量方法。受顯微鏡分辨力影響，直接采用原始圖像測量，其精度難以滿足直接測量需求。受卷積效應(yīng)影響，微結(jié)構(gòu)的光學(xué)邊緣與微結(jié)構(gòu)的物理邊緣不一致。建立準(zhǔn)確的微結(jié)構(gòu)邊緣判據(jù)，依據(jù)光學(xué)圖像精確確定微結(jié)構(gòu)的邊緣是普通光學(xué)顯微成像測量的關(guān)鍵問題。
　　本文利用0.550μm單色光作為照明光

2、源對圓孔結(jié)構(gòu)顯微成像，然后利用超分辨復(fù)原算法處理原始圖像，消除衍射效應(yīng)影響，提高圓孔結(jié)構(gòu)圖像分辨力。通過對圓孔顯微圖像超分辨復(fù)原，本文建立了圓孔復(fù)原圖像的邊緣判據(jù)IE=0.399，并據(jù)此探測圓孔邊緣進而測量直徑，提高了對微米級圓孔直徑的光學(xué)顯微測量的測量精度。該方法實現(xiàn)了對圓孔結(jié)構(gòu)快速、準(zhǔn)確地顯微圖像測量。
　　在上述研究基礎(chǔ)上，本文開發(fā)了核孔膜自動檢測系統(tǒng)，實現(xiàn)了對核孔膜核孔的精確探測和準(zhǔn)確孔徑測量，為核孔膜產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中檢測