BCD Off-line工藝及其中單元器件結(jié)構(gòu)的研究.pdf

1、智能功率集成電路SPIC(SmartPowerIC)是一種將功率器件與低壓邏輯控制電路及相關(guān)的保護(hù)電路集成在一起的智能化控制芯片。SPIC被廣泛應(yīng)用于電子鎮(zhèn)流器、馬達(dá)驅(qū)動(dòng)、開(kāi)關(guān)電源、音頻放大和汽車電子等領(lǐng)域。 雖然近年來(lái)國(guó)內(nèi)得半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展很快，多條8寸線的建成，使國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體制造水平提升了幾個(gè)檔次，最小線寬已經(jīng)到達(dá)0．18um，但是這并不能說(shuō)國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體技術(shù)已經(jīng)達(dá)到世界水平，因?yàn)楹芏嚓P(guān)鍵技術(shù)國(guó)內(nèi)還沒(méi)有。如SPIC，這類電路大部

2、分都是依靠進(jìn)口，從電路的角度來(lái)看，其實(shí)并不是很復(fù)雜，關(guān)鍵就在于國(guó)內(nèi)沒(méi)有合適的工藝。 SPIC因?yàn)槭枪β势骷c邏輯控制電路的結(jié)合，所以其加工工藝需要把功率器件、雙極和CMOS工藝兼容在一起(稱為BCD工藝)，相對(duì)來(lái)說(shuō)比較復(fù)雜，而且為了工藝的兼容且不增加工藝的復(fù)雜度，器件結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)也尤為重要。在此方面的研究，國(guó)內(nèi)才剛剛起步，而國(guó)外已經(jīng)發(fā)展到第七代BCD工藝，且從第一代到第七代，已經(jīng)共有幾十套標(biāo)準(zhǔn)的BCD工藝，可見(jiàn)其差距之大。