版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權，請進行舉報或認領
文檔簡介
1、掃描近場光學顯微術(Scanningnear-fieldopticalmicroscopy，簡稱為SNOM)是一種在近幾十年來取得快速發(fā)展的新興技術。它突破了傳統(tǒng)光學顯微鏡由于光的衍射效應產(chǎn)生的分辨率限制，分辨率可達入射光波長的十幾分之一，甚至幾十分之一，實現(xiàn)了納米量級的光學成像。因此，SNOM不僅在物理、化學、生物、醫(yī)學、材料和微電子學等研究領域有重要的應用價值，而且會對醫(yī)學及信息技術產(chǎn)生重大影響。SNOM最重要的潛在應用領域之一就是
2、超高密度光信息存儲。于是，一種用于此目的的并以垂直腔表面發(fā)射激光器(Vertical-CavitySurface-EmittingLaser，簡稱為VCSEL)為基礎構造的掃描近場光學傳感器的新概念應運而生。這種集成式傳感器是一種微型單片集成式傳感器，它由三個基本單元構成，分別是PIN探測器、垂直腔表面發(fā)射激光器和金字塔狀GaAs微探尖。其中金字塔狀GaAs微探尖是保證整個系統(tǒng)分辨率和性能的關鍵部件，它的質量和性能將直接影響整個掃描近場
3、光學顯微系統(tǒng)。因此，如何制備具有高質量的金字塔狀GaAs微探尖已經(jīng)成為近年來的研究熱點。 本文詳細介紹了選擇性液相外延法制備金字塔狀GaAs微探尖的工藝流程，包括掩膜的制備、光刻、濕法刻蝕、液相外延等等。介紹了采用兩種不同的石墨舟，改變生長液脫離襯底的方式來生長金字塔狀GaAs微探尖：使用傳統(tǒng)的水平式石墨舟是在金字塔狀GaAs微探尖生長結束后，將生長液因水平推力的作用離開GaAs襯底；而使用旋轉式石墨舟則是在金字塔狀GaAs微探
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
評論
0/150
提交評論