基于光譜色散線掃描的干涉型納米表面在線測(cè)量原理與實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、納米技術(shù)是在近乎原子尺度上研究物質(zhì)的特性及物質(zhì)間相互作用的前沿技術(shù)。隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，納米技術(shù)涉及到機(jī)械、材料、生物、化學(xué)等越來(lái)越廣泛的領(lǐng)域，對(duì)于納米測(cè)量的需求越來(lái)越多，對(duì)于納米測(cè)量的精度要求也越來(lái)越高。在納米測(cè)量技術(shù)中，光學(xué)干涉測(cè)量技術(shù)是最重要的技術(shù)之一。典型的光學(xué)干涉測(cè)量技術(shù)有雙頻激光干涉儀法，激光偏振干涉儀法、光柵干涉測(cè)量法、F-P干涉儀法、x射線干涉儀法等。 本文提出了一種基于光譜色散線掃描的干涉型納米表面三維在線

2、測(cè)量系統(tǒng)，并進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究。該系統(tǒng)利用光譜色散線掃描方式對(duì)納米表面進(jìn)行測(cè)量，相對(duì)于點(diǎn)掃描測(cè)量方式，該方法測(cè)量速度快，掃描機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)單，光源光譜的漂移對(duì)測(cè)量結(jié)果沒(méi)有影響。 本論文工作對(duì)線掃描干涉系統(tǒng)、光柵光譜色散、CCD圖像探測(cè)器、LabVIEW數(shù)據(jù)采集分別進(jìn)行了理論分析及實(shí)驗(yàn)研究。分別進(jìn)行了兩種不同波段（655nm、1545nm）的光柵光譜色散、干涉、CCD接收和數(shù)據(jù)采集，包含兩種波長(zhǎng)的激光器、兩種參數(shù)的光柵、三種CCD傳感器和一臺(tái)