基于LabVIEW的干涉型動(dòng)態(tài)微位移納米在線測(cè)量系統(tǒng)的研究.pdf

1、納米技術(shù)是在近乎原子尺度上研究物質(zhì)的特性及物質(zhì)間相互作用的前沿技術(shù)。隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，納米技術(shù)涉及到機(jī)械、材料、生物、化學(xué)等越來越廣泛的領(lǐng)域，對(duì)于納米測(cè)量的需求越來越多，對(duì)于納米測(cè)量的精度要求也越來越高。高精度的動(dòng)態(tài)位移測(cè)量系統(tǒng)是機(jī)械、儀表、工具、兵器、宇航等產(chǎn)業(yè)獲得位置精度的基礎(chǔ)，也是上述產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品及技術(shù)不斷進(jìn)步的制約因素。而這些方面光學(xué)干涉計(jì)量以其能夠精確到波長量級(jí)的優(yōu)勢(shì)成為位移測(cè)量系統(tǒng)的主要代表。 本文提出了一種基于L

2、abVIEW的利用光纖干涉法測(cè)量動(dòng)態(tài)位移的測(cè)量系統(tǒng)及方法，本系統(tǒng)中利用光分復(fù)用技術(shù)以及FBG光柵的特性構(gòu)成兩個(gè)幾乎重合的邁克耳遜干涉儀，通過反饋系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)PZT來控制參考臂長度，使兩臂始終保持正交狀態(tài)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)外部環(huán)境干擾進(jìn)行補(bǔ)償，進(jìn)一步使得測(cè)量系統(tǒng)得到穩(wěn)定，并結(jié)合軟件編程的方法實(shí)現(xiàn)干涉信號(hào)相位的解調(diào)，該方法測(cè)量誤差小，精度高，結(jié)構(gòu)簡單，非常適用于在線測(cè)量。 本論文的主要工作包括：（1）對(duì)系統(tǒng)穩(wěn)定性、相位解調(diào)技術(shù)分別進(jìn)行理論分析