基于相位調制的激光干涉位移測量系統(tǒng)關鍵技術研究.pdf

1、激光干涉儀將光學精密測試原理與電子技術相結合，可實現(xiàn)快速、高精度測量，廣泛應運用于精密制造、測試計量領域。目前激光干涉儀普遍可以實現(xiàn)納米精度，但由于干涉測量容易受到環(huán)境條件干擾，且在納米測量中需進一步提高信號質量與信號處理方法，故目前激光干涉儀結合電子技術不斷提出新原理、新結構，力求干涉系統(tǒng)的可靠性與微型化，提高干涉儀的實際應用性能。
　　論文在分析現(xiàn)有典型激光干涉儀原理的基礎上，根據(jù)偏振光邁克爾遜干涉儀的基本結構，研究了基于相位

2、調制的激光干涉測量方法，該方法通過單路調制干涉信號即可實現(xiàn)高倍細分與辨向，從信號處理的角度在一定程度上減少了多路信號處理的部分誤差，結構簡單，可實現(xiàn)高精度測量。
　　論文分析了相位調制激光干涉位移測量系統(tǒng)的結構和組成部分，包括光路部分和信號處理部分。信號處理部分包括PZT驅動、光電信號轉換和信號解調部分。光路部分基于偏振光干涉測量系統(tǒng)，PZT對其中一路光束進行周期光程調制，獲得相位周期調制信號，信號通過光電轉換電路實現(xiàn)對光強信號的