基于相位調(diào)制的激光干涉位移測(cè)量系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、激光干涉儀將光學(xué)精密測(cè)試原理與電子技術(shù)相結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)快速、高精度測(cè)量，廣泛應(yīng)運(yùn)用于精密制造、測(cè)試計(jì)量領(lǐng)域。目前激光干涉儀普遍可以實(shí)現(xiàn)納米精度，但由于干涉測(cè)量容易受到環(huán)境條件干擾，且在納米測(cè)量中需進(jìn)一步提高信號(hào)質(zhì)量與信號(hào)處理方法，故目前激光干涉儀結(jié)合電子技術(shù)不斷提出新原理、新結(jié)構(gòu)，力求干涉系統(tǒng)的可靠性與微型化，提高干涉儀的實(shí)際應(yīng)用性能。
　　論文在分析現(xiàn)有典型激光干涉儀原理的基礎(chǔ)上，根據(jù)偏振光邁克爾遜干涉儀的基本結(jié)構(gòu)，研究了基于相位

2、調(diào)制的激光干涉測(cè)量方法，該方法通過單路調(diào)制干涉信號(hào)即可實(shí)現(xiàn)高倍細(xì)分與辨向，從信號(hào)處理的角度在一定程度上減少了多路信號(hào)處理的部分誤差，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。
　　論文分析了相位調(diào)制激光干涉位移測(cè)量系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)和組成部分，包括光路部分和信號(hào)處理部分。信號(hào)處理部分包括PZT驅(qū)動(dòng)、光電信號(hào)轉(zhuǎn)換和信號(hào)解調(diào)部分。光路部分基于偏振光干涉測(cè)量系統(tǒng)，PZT對(duì)其中一路光束進(jìn)行周期光程調(diào)制，獲得相位周期調(diào)制信號(hào)，信號(hào)通過光電轉(zhuǎn)換電路實(shí)現(xiàn)對(duì)光強(qiáng)信號(hào)的