SnO-,2-納米粉體及薄膜的制備工藝與結(jié)構(gòu)形貌表征.pdf

1、SnO<,2>作為一種廣譜氣敏材料，可以用來(lái)檢測(cè)各種有毒、有害及各種可燃性氣體，具有非常廣闊的應(yīng)用前景。采用溶膠—凝膠法制備納米顆粒，具有工藝穩(wěn)定、重復(fù)性好、可批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。本文采用溶膠—凝膠法制備納米SnO<,2>粉體及SnO<,2>薄膜。 本文通過(guò)調(diào)整反應(yīng)溶液濃度、PH值以及燒結(jié)溫度等工藝參數(shù)，對(duì)SnO<,2>粉體制備工藝和薄膜制備工藝進(jìn)行研究。并采用X射線(xiàn)衍射分析、TEM、SEM等，分別對(duì)納米SnO<,2>粉體的形貌、粒

2、徑分布、晶相組成以及SnO<,2>薄膜的表面形貌進(jìn)行表征。 TG-DSC分析結(jié)果表明：SnO<,2>干凝膠在溫度達(dá)到330℃時(shí)，SnO<,2>由非晶態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)閱我坏乃姆骄到鸺t石結(jié)構(gòu)。 采用溶膠—凝膠法，通過(guò)調(diào)整反應(yīng)溶液濃度、PH值以及燒結(jié)溫度等工藝參數(shù)，可以制備出具有四方金紅石結(jié)構(gòu)的平均晶粒尺寸10-50nm的SnO<,2>納米粉體。 XRD與TEM分析結(jié)果表明，其他工藝條件不變時(shí)，SnO<,2>粉體的晶粒尺寸隨

3、著SnCl<,4>溶液濃度的增加而減小。而反應(yīng)溶液的PH值的變化，對(duì)溶膠的形成和溶膠一凝膠轉(zhuǎn)變產(chǎn)生影響，對(duì)SnO<,2>粉體晶粒尺寸影響不大。 SnO<,2>粉體晶粒尺寸隨著燒結(jié)溫度的升高而顯著增大。其他工藝參數(shù)不變，燒結(jié)溫度從400℃增加到800℃，SnO<,2>粉體平均晶粒尺寸從10 nm增加到50 nm，且燒結(jié)溫度的提高，會(huì)導(dǎo)致納米顆粒從軟團(tuán)聚向硬團(tuán)聚轉(zhuǎn)變。 采用提拉法制備出具有納米晶結(jié)構(gòu)的SnO<,2>薄膜。SE