GaAs襯底共面波導不連續(xù)性結構建模技術研究.pdf

1、共面波導作為一種性能優(yōu)越、加工方便的微波傳輸線，正日益在MMIC電路中發(fā)揮越來越大的作用，尤其到了毫米波頻段，共面波導更擁有微帶線所不可比擬的性能優(yōu)勢。目前制約共面波導電路技術發(fā)展的最大瓶頸就是EDA工具中普遍缺乏高效實用和充分的各類共面波導不連續(xù)性結構模型。本文以國內自主GaAsMMIC工藝線背敷金屬共面波導作為對象，對其各類不連續(xù)性結構的建模技術展開研究，其創(chuàng)新點和有價值的工作如下： 1、在借鑒國際上已有建模算法先進經(jīng)驗的條

2、件下，結合等效電路模型和EM-ANN模型的優(yōu)勢，在業(yè)界首次提出一種等效電路訓練人工神經(jīng)網(wǎng)絡模型算法，即EC-ANN算法，很好地兼顧了模型的效率和精度，為以后開發(fā)高效實用的無源器件工程模型提供了新的解決方案； 2、第一次將EC-ANN建模算法用于國內GaAs工藝線背敷金屬共面波導不連續(xù)性結構的模型開發(fā)，建立了特定工藝上包括螺旋電感、MIM電容、薄膜電阻等集總元件在內的十二種不連續(xù)性結構模型，模型適用頻率達到40GHz，經(jīng)過在片測試

3、檢驗后效果良好； 3、以Agilent-ADS為設計環(huán)境，EC-ANN算法為基礎，成功開發(fā)出國內第一個共面波導不連續(xù)性結構模型設計包(HIEE_CPW_Kit)，極大地方便了使用該批模型的電路設計與優(yōu)化，大大提高了模型實用價值； 4、在比國外先進設計包具有更高效率的基礎上，率先利用該設計包進行背敷金屬共面波導4dB寬帶(15-25GHz)功分器和20GHz帶通濾波器設計，前者通過全波仿真驗證，后者經(jīng)過流片加工和測試分析驗