分子泵磁懸浮軸承結(jié)構(gòu)及功率放大器設(shè)計(jì).pdf

1、磁懸浮軸承是一種典型的機(jī)電一體化產(chǎn)品，是利用磁力作用將轉(zhuǎn)子懸浮于空中的一種新型高性能軸承。與傳統(tǒng)軸承相比，具有無接觸、無摩擦、壽命長(zhǎng)、能耗低、噪聲小、無需潤(rùn)滑等優(yōu)點(diǎn)，實(shí)際應(yīng)用越來越廣泛。本課題研究的目的是，解決傳統(tǒng)軸承型分子泵應(yīng)用在半導(dǎo)體制造行業(yè)時(shí)出現(xiàn)轉(zhuǎn)速低、壽命短、真空不潔凈等問題，設(shè)計(jì)分子泵的磁懸浮軸承結(jié)構(gòu)和功率放大器，對(duì)實(shí)現(xiàn)分子泵在半導(dǎo)體工業(yè)中的良好應(yīng)用有著重要的意義。
　　首先綜合考慮了分子泵體積小、磁軸承散熱條件不好的特

2、點(diǎn)，設(shè)計(jì)了分子泵磁懸浮軸承的結(jié)構(gòu)，選擇了軸承鐵芯的材料，設(shè)計(jì)了磁極的布置、槽的形狀、磁極數(shù)目和線圈纏繞方式。
　　其次，為了得到最佳結(jié)構(gòu)參數(shù)，對(duì)分子泵磁軸承結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，建立了磁軸承結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)優(yōu)化模型，以磁軸承體積最小為優(yōu)化目標(biāo)，以線圈溫升小于允許溫升和承載力滿足載荷要求等為約束條件。
　　最后闡述了功率放大器的工作原理和特性，在分析了目前開關(guān)功率放大器所采用的調(diào)制技術(shù)、比較了各種調(diào)制技術(shù)優(yōu)缺點(diǎn)的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)了脈寬調(diào)