高溫條件下MEMS微構(gòu)件動態(tài)特性測試技術(shù)研究.pdf

1、MEMS器件在不同的溫度環(huán)境下的性能和響應(yīng)特性是不同的，基于微加工技術(shù)指導(dǎo)的MEMS傳感器件，已經(jīng)應(yīng)用于飛機、軍事等裝備制造業(yè)。MEMS傳感器件是利用微機械加工技術(shù)和微電子工藝技術(shù)制作的。MEMS傳感器件主要通過微構(gòu)件的微小位移或變形來實現(xiàn)測量功能，其微構(gòu)件的諧振頻率等動態(tài)特性在很大程度上決定了器件的性能。研制和開發(fā)微構(gòu)件在高溫環(huán)境下動態(tài)特性的實驗測試裝置，對測試微構(gòu)件動態(tài)特性及其隨溫度變化規(guī)律的研究有著重要的意義，對于MEMS微器件的

2、可靠性和穩(wěn)定性具有指導(dǎo)意義。 開發(fā)了基于高溫環(huán)境的MEMS微構(gòu)件動態(tài)測試裝置，完成了包括壓電陶瓷底座，高溫實現(xiàn)及隔熱，數(shù)據(jù)采集和處理及微構(gòu)件溫度的計算機自動控制等部分。搭建了微構(gòu)件高溫動態(tài)測試裝置，介紹了加熱元件、升降機構(gòu)的選取，以及整個內(nèi)部零件的設(shè)計加工實現(xiàn)。介紹了測試裝置控制單元，如數(shù)據(jù)采集、處理，溫度控制單元的設(shè)計，完成了由虛擬儀器及控制電路構(gòu)成的微構(gòu)件的溫度自動控制測試系統(tǒng)方案。開發(fā)了基于虛擬儀器語言LabVIEW的自動