無(wú)衍射光斑尺寸和能量分布的測(cè)量.pdf

1、微細(xì)加工、光學(xué)存儲(chǔ)、光學(xué)成像等很多領(lǐng)域都對(duì)微光斑的能量分布有較高的要求，目前常見(jiàn)的測(cè)量方法多用來(lái)測(cè)量高斯分布的激光光束的尺寸和能量分布。實(shí)際無(wú)衍射微光斑的能量分布影響圖像恢復(fù)效果，無(wú)衍射微光斑尺寸及能量分布的測(cè)量可以為改進(jìn)無(wú)衍射光濾波方法和參數(shù)的優(yōu)化提供依據(jù)，但實(shí)際無(wú)衍射光斑的能量分布可能不規(guī)則，光斑的尺寸小，而且強(qiáng)度很弱。本文用小孔對(duì)被測(cè)光斑二維掃描取樣，再對(duì)取樣信號(hào)處理后復(fù)原光斑的能量分布的方法，實(shí)現(xiàn)了對(duì)形狀和能量分布不規(guī)則、尺寸較

2、小、能量密度小的光斑能量分布的測(cè)量。
　　 采用內(nèi)外層嵌套的柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)作為精密微動(dòng)工作臺(tái)來(lái)帶動(dòng)微米級(jí)小孔按很小的步距對(duì)被測(cè)光斑二維掃描取樣，以實(shí)現(xiàn)對(duì)尺寸較小、形狀和能量分布不規(guī)則的光斑的測(cè)量。分析和實(shí)驗(yàn)均表明該掃描裝置具有較高的分辨率和位移精度。
　　 用光電倍增管作為光電探測(cè)器，接收小孔對(duì)光斑的取樣信號(hào)，再以低噪聲的I/V轉(zhuǎn)換電路和電壓放大電路處理取樣信號(hào)，使得測(cè)量裝置在信號(hào)處理方面具有高靈敏度、低噪聲的特點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)了