

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文檔簡介
1、華中科技大學(xué)博士學(xué)位論文空間直線度誤差無衍射光莫爾條紋測量方法的研究姓名:張新寶申請學(xué)位級別:博士專業(yè):機(jī)械制造及其自動(dòng)化指導(dǎo)教師:李柱趙斌2002.9.30華中科技大學(xué)博士學(xué)位論文AbstractTherelevanttechniquesformeasuringspatialstraightnesserrorusingnondiffractingbeamandmoir6fringetechnologyaredescribedinthi
2、sdissertationStraightnesserrormeasurementiswidelyappliedinmanufacturingprecisemachines,installinglargeconstructions,fixinghigh—speedorbits,testinggreatdamdeformation,manufacturinglargeaviateprobes,etcWimtherapiddevelopme
3、ntofeconomyandothertechnologies,moreadvancedandsophisticatedmeasuringtechnologiesforstraightnesserrorarerequiredAnewstraightnesserrormeasurementtechnologyiSdevelopedinthisdissertation,combiningthenovelnon—diffractingbeam
4、technologywiththetraditionalmoirdfringetechnology111isisanewstudyoftheapplicationsofthenondiffractingbeamintheprecisemeasurementfield111emainresearchesandcreativepointsareasfollows:1Basedonthetheoryandtheexperimentresult
5、s,itisproposedandprovedfortllefirsttimethatthenondiffractingbeam,whichiSproducedwhenthesphericalincidentbeamilluminatesaxiconlens,iSlessinfluencedbythedeflectionoftheincidentbeamthanthatproducedwhentheincidentplanewavedo
6、esandhasastablerlightaxisTherefore。theaxisofnondiffractingbeamiSavailableasadatumlineofcontinuousspatialstraightnesserrormeasurement,regardlessofalong,middleorshortdistance2Themeasurementmethodcombiningnondiffractingbeam
7、withthemoirdfringetechnologyforspatialstraightnesserrorisproposedandprovedtheoreticallyandpractically111enon—diffractingbeamCanproduceaseriesofspatialBesselringsthatareindependentonthechangesofitspropagationdistance,andt
8、hesetofthecentersofthoseBesselringscanbeUSedasthedatumIineofstraightnesserrormeasurementWhentheBesselringsilluminateonecirculargratingwhosepitcheskeepconstantornot,moir6fringeswillbegeneratedWhenthecirculargratingmovesto
9、theBesselringsmoir6fringeswillchangeSobothoftheXdirectionandtheYdirectiondisplacementsCanbeobtainedfromthemoir6fringesThen,thespatialstraightnesseiiormeasurementcanberealizedTherefore,thisiSacreativestudyofstraightnesser
10、rormeasurementThismethodCanrealizecontinuoushighprecisionmeasurementeffectively,becausethemeasuringpitchalongthezaxisdirectionCanbearrangedfreely3Therecognitionofmoir6fringeimageisoneofthekeytechniquesofthismeasurementme
11、thod,SOthisdissertationdevelopsspecialsoftwareofimageprocesssuitableforthemoirdfringeimages4Basedontheproposedmeasurementmethod,alasercollimatingtrackingandpositioningsystemusingnondiffractingbeamandmoirdfringetechnology
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