基于光學(xué)掃描法的長導(dǎo)軌直線度測量方法研究.pdf

1、直線度誤差是導(dǎo)軌加工件的主要形位誤差。對于運(yùn)動平臺導(dǎo)軌，直線度誤差直接影響著機(jī)床、測量機(jī)的精度。隨著超精密加工技術(shù)的不斷進(jìn)步，對導(dǎo)軌直線度測量的要求也越來越高。傳統(tǒng)的以直尺，重錘線等簡易工具為測量手段的方法，雖然具有檢測器具簡單、實(shí)施簡便的優(yōu)點(diǎn)，但測量精度不高、性能無法保證；而以激光準(zhǔn)直技術(shù)作為測量手段的現(xiàn)代測量方法，雖然具有測量精度高、速度快的優(yōu)點(diǎn)，但激光在現(xiàn)場環(huán)境中的應(yīng)用受到限制，且不便于已安裝到位的導(dǎo)軌的在位測量。
　　本論

2、文采用基于位移傳感器的多測頭掃描法對長導(dǎo)軌的直線度誤差的在位測量方法進(jìn)行研究，提出一種采用傾角補(bǔ)償?shù)?測頭掃描方法，可對被測導(dǎo)軌實(shí)施非接觸和連續(xù)快速掃描測量，重構(gòu)出的形狀可精確反映直線度誤差的高頻成分且對測量噪聲有較好抑制能力。本文首先對現(xiàn)有的導(dǎo)軌直線度掃描測量方法進(jìn)行介紹，接著詳細(xì)說明了傾角補(bǔ)償式3點(diǎn)法的測量原理和仿真驗(yàn)證結(jié)果，隨后搭建實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)對提出方法進(jìn)行了驗(yàn)證。針對開發(fā)的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)編寫了相應(yīng)的數(shù)據(jù)采集程序和采用最小二乘法的直線度重構(gòu)