直線基準(zhǔn)的測(cè)量修正技術(shù)和直線度評(píng)定方法研究.pdf

1、直線度誤差測(cè)量是幾何量測(cè)量和精度控制的基本項(xiàng)目,直線基準(zhǔn)則是直線度誤差測(cè)量的關(guān)鍵要素。無(wú)衍射光束因其較高的穩(wěn)定性和抗干擾能力,越來(lái)越多地被用作直線度誤差檢測(cè)的直線基準(zhǔn)。為了克服光學(xué)直線基準(zhǔn)受漂移量尤其是角漂量影響較大的缺陷,解決中長(zhǎng)距離光學(xué)直線基準(zhǔn)誤差大的問(wèn)題,本文開(kāi)發(fā)了一種基于無(wú)衍射光束的直線基準(zhǔn)測(cè)量修正系統(tǒng)。另外,針對(duì)國(guó)標(biāo)中極點(diǎn)計(jì)算法存在的缺陷,本文提出了直線度誤差評(píng)定的極點(diǎn)定向搜索與迭代方法,改善直線度誤差的評(píng)定精度。具體內(nèi)容主要

2、有以下幾點(diǎn):
　　(1)針對(duì)國(guó)內(nèi)外光束漂移探測(cè)的研究現(xiàn)狀和存在的問(wèn)題,開(kāi)發(fā)了一種無(wú)衍射光束直線基準(zhǔn)的測(cè)量修正系統(tǒng):
　?、偬岢隽藷o(wú)衍射光束的測(cè)量修正系統(tǒng)總體方案,給出了無(wú)衍射光束的漂移探測(cè)和補(bǔ)償原理,設(shè)計(jì)了硬件系統(tǒng)所需的各種機(jī)械裝置。
　?、诮Y(jié)合無(wú)衍射光束的漂移探測(cè)原理設(shè)計(jì)了同步控制系統(tǒng)。具體包括:分析同步控制原理提出同步控制方法,根據(jù)同步控制的需要設(shè)計(jì)延時(shí)電路和電子開(kāi)關(guān)。
　?、劢Y(jié)合無(wú)衍射光束截面圖像特點(diǎn),開(kāi)發(fā)