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1、巨磁電阻(GMR)效應(yīng)自發(fā)現(xiàn)以來即引起各國企業(yè)界及學(xué)術(shù)界的高度重視，GMR效應(yīng)已成為當(dāng)前凝聚態(tài)物理研究的熱點之一。它不僅具有重要的科學(xué)意義，而且更重要的是，它具有多方面的應(yīng)用價值。目前的應(yīng)用領(lǐng)域主要有磁傳感器、隨機(jī)存儲器和高密度讀出磁頭等方面。GMR傳感器在自動化技術(shù)、家用電器、衛(wèi)星定位、導(dǎo)航、汽車工業(yè)、醫(yī)療等方面都具有廣泛的應(yīng)用前景。本文主要闡述了自旋閥多層膜GMR的工作原理，并利用制版、光刻、化學(xué)腐蝕等半導(dǎo)體制造技術(shù)，制備了金屬掩膜
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