液態(tài)源MOCVD控制系統(tǒng)研究.pdf

1、金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)是一門(mén)制造薄膜材料的關(guān)鍵技術(shù)，目前廣泛應(yīng)用于制備高質(zhì)量半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、超導(dǎo)薄膜和各種半導(dǎo)體器件。本文在研究了現(xiàn)代MOCVD技術(shù)的基本原理和特點(diǎn)的基礎(chǔ)上，仔細(xì)分析了系統(tǒng)的工藝控制流程。通過(guò)對(duì)幾種控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)形式的比較，針對(duì)控制系統(tǒng)的實(shí)際需求，建立了相應(yīng)的控制系統(tǒng)。 系統(tǒng)采用集散控制方式來(lái)控制薄膜的生長(zhǎng)。整個(gè)MOCVD控制系統(tǒng)采用兩級(jí)分布式控制結(jié)構(gòu)，應(yīng)用一臺(tái)Pro-face系列觸摸屏進(jìn)行系統(tǒng)

2、的監(jiān)控管理、信號(hào)采集、數(shù)據(jù)處理及參數(shù)設(shè)定，利用OMRON系列可編程控制器(PLC)和智能儀表等實(shí)現(xiàn)各信號(hào)的轉(zhuǎn)換來(lái)完成生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的過(guò)程控制，通過(guò)數(shù)據(jù)線聯(lián)接PLC與觸摸屏、智能儀表等控制部件，實(shí)現(xiàn)材料生長(zhǎng)過(guò)程的全自動(dòng)控制。軟件開(kāi)發(fā)中將采用模塊化設(shè)計(jì)方法，將系統(tǒng)劃分為若干功能模塊，各模塊之間保持相互獨(dú)立，提高了系統(tǒng)的可靠性、可維護(hù)性，縮短了軟件的開(kāi)發(fā)周期；監(jiān)控界面采用圖形用戶界面，為操作人員提供生動(dòng)友好的人機(jī)接口，方便操作人員掌握和使用。為了確