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1、數(shù)字球徑儀是對(duì)傳統(tǒng)球徑儀的革命,本文主要介紹了一種莫爾條紋信號(hào)軟硬件相結(jié)合的細(xì)分方法及其裝置在數(shù)字球徑儀的應(yīng)用。根據(jù)曲率半徑測(cè)量原理,構(gòu)造了數(shù)字球徑儀硬件系統(tǒng),采用數(shù)字信號(hào)處理器DSP,并與放大電路、濾波電路、辨向電路、鑒零電路、A/D轉(zhuǎn)換電路、計(jì)數(shù)系統(tǒng)和顯示電路等外部電路相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)了莫爾條紋信號(hào)200倍頻的快速細(xì)分,系統(tǒng)分辨力可達(dá)50nm。 系統(tǒng)通過(guò)差動(dòng)放大器和濾波電路改善了莫爾條紋原始信號(hào)的質(zhì)量,降低了高次諧波的干擾,采用
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