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文檔簡介
1、如今是一個信息爆炸的時代,計算機(jī)和通信技術(shù)的快速發(fā)展為我們開辟了一個全新的世界。電子系統(tǒng)的信息處理能力與日俱增,但隨著芯片工作癩率的不斷增加和線寬的不斷縮小,人們也越來越清楚地發(fā)現(xiàn)互連技術(shù)已成為系統(tǒng)性能進(jìn)一步發(fā)展的嚴(yán)重障礙。與電互連伴隨的各種固有缺陷,如頻率相關(guān)損耗、線路之間電磁干擾(EMI)和在高數(shù)據(jù)傳輸率時的串?dāng)_,不但限制了可用帶寬,而且已成為限制系統(tǒng)表現(xiàn)的主要瓶頸。 近年來,光學(xué)互連作為一種解決電互連存在的帶寬問題的實(shí)施方
2、案,引起世界許多研究機(jī)構(gòu)的關(guān)注。在主板上的芯片與芯片間的通信系統(tǒng)中,光互連已經(jīng)被證明擁有很大的潛力,具有傳輸速率快、能耗低的優(yōu)點(diǎn),并且在進(jìn)行高速數(shù)據(jù)傳輸時的誤碼率極低。 本文以研究層間垂直光耦合為目的,設(shè)計了一種新型多層光互連垂直耦合結(jié)構(gòu),可用于高速計算機(jī)內(nèi)部垂直堆迭的多層連通光互連的芯片間光信息通訊;并且,將軟光刻工藝應(yīng)用于器件的制作,大大降低器件成本,簡化制作過程,增加生產(chǎn)效率。本文的主要內(nèi)容包括以下幾部分: 首先,
3、介紹了當(dāng)前光互連的基本情況,討論了電互連方式的缺陷以及光互連方式的優(yōu)點(diǎn)。 其次,設(shè)計了一種新型的多層垂直耦合光互連線路,其結(jié)構(gòu)簡單,且具有較小的連接損耗(可低至0.05 dB)。對四種不同的典型波導(dǎo)截面(分別為30x30μm<'2>,50x50μm<'2>,100x100μm<'2>,200x200μm<'2>),在光學(xué)設(shè)計軟件ZEMAX中進(jìn)行了跨越1-6層的垂直耦合性能分析,發(fā)現(xiàn)當(dāng)該結(jié)構(gòu)的跨越高度與橫向跨越距離的比值約為0.1
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