基于紫外納米軟壓印工藝的陷光結(jié)構(gòu)研究.pdf

1、隨著科技的進(jìn)步，很多器件在微納尺寸下展現(xiàn)出很多與大塊材料不同的性質(zhì)，而這些性質(zhì)中有很多具有很強(qiáng)的應(yīng)用前景，這推動(dòng)了微納器件的加工方法的提高與性質(zhì)的研究。
　　本文的第一章與第二章簡(jiǎn)單介紹了常見(jiàn)的納米加工方法，包括電子束光刻(EBL)、微納自組裝法及納米壓印技術(shù)。通過(guò)分析各種加工方法的優(yōu)劣，介紹了納米壓印技術(shù)的優(yōu)勢(shì):它可以在保證加工精度較高同時(shí)又能降低其生產(chǎn)成本，而這兩個(gè)優(yōu)點(diǎn)為納米壓印的工業(yè)化做了很好的鋪墊。在第二章中，通過(guò)對(duì)常見(jiàn)的

2、三種納米壓印技術(shù)做出分析，并結(jié)合現(xiàn)有的設(shè)備，對(duì)納米壓印技術(shù)進(jìn)行了相應(yīng)的改進(jìn)，并詳細(xì)的介紹了納米壓印的各個(gè)加工步驟及需要注意的地方。
　　本文的第三章與第四章，是利用之前介紹的納米壓印的加工方法對(duì)超級(jí)吸收體及光學(xué)傳感器這兩種微納器件進(jìn)行加工。這兩種微納器件是基于表面等離激元來(lái)進(jìn)行設(shè)計(jì)的，而為了使加工器件更加有目的性，我們利用有限時(shí)域差分法對(duì)各種尺寸的微納器件進(jìn)行了仿真。通過(guò)掃描電鏡以及原子力顯微鏡的觀測(cè)我們?cè)僖淮悟?yàn)證了納米壓印具有極