Ta-W合金微細(xì)電火花加工技術(shù)研究.pdf

1、電火花加工是超精密加工中的一種重要方法,其本質(zhì)是電腐蝕。經(jīng)過(guò)半個(gè)多世紀(jì)的發(fā)展,電火花加工技術(shù)已經(jīng)成為現(xiàn)代制造技術(shù)領(lǐng)域中不可或缺的重要組成部分,在微電子工業(yè)、航空航天、醫(yī)療器械以及模具制造等許多領(lǐng)域內(nèi)取得廣泛的應(yīng)用。隨著微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)和現(xiàn)代電子電力技術(shù)的迅速發(fā)展,尤其是微細(xì)電極的在線制作技術(shù)成熟以后,使得電火花微細(xì)加工技術(shù)進(jìn)入了實(shí)用化的階段,越來(lái)越受到人們的重視。Ta-W合金是一種高強(qiáng)度、高熔點(diǎn)、高沖擊阻抗的重金屬材料,有很高的延

2、展性,較好的機(jī)械加工性能和很強(qiáng)的高溫抗腐蝕能力,在高科技領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用。首先,本文通過(guò)一系列工藝性試驗(yàn),對(duì)Ta-W合金的電火花加工特性進(jìn)行了初步的分析,主要研究了電參數(shù)和電極材料對(duì)加工速度和電極損耗的影響。并用兩種不同直徑的電極對(duì)1Cr18Ni9Ti進(jìn)行加工,分析了電極直徑對(duì)加工的影響。其次,通過(guò)對(duì)Ta-W合金和1Cr18Ni9Ti的對(duì)比加工試驗(yàn),深入地研究了Ta-W合金的電火花加工性能,并從材料性質(zhì)入手,分析了Ta-W合金的電火花