納米級(jí)微表面干涉形貌檢測(cè)儀的功能擴(kuò)展和數(shù)據(jù)處理.pdf

1、本文對(duì)納米級(jí)干涉微表面檢測(cè)儀進(jìn)行了功能擴(kuò)展和數(shù)據(jù)處理.全面描述了微表面形貌檢測(cè)的各種方法,總結(jié)了干涉檢測(cè)儀的信息處理和大視場測(cè)量的方法. 分析了相移干涉的原理,并對(duì)采集到的圖像進(jìn)行了預(yù)處理.設(shè)計(jì)了干涉儀三維掃描拼接的硬件系統(tǒng).針對(duì)采集到的圖像,提出了基于判斷特征點(diǎn)有無的圖像拼接算法,并用軟件加以實(shí)現(xiàn),擴(kuò)大了干涉檢測(cè)儀的測(cè)量范圍.完成了干涉儀的系統(tǒng)軟件設(shè)計(jì),在軟件中集成了數(shù)據(jù)采集,圖像拼接,電機(jī)驅(qū)動(dòng),干涉圖像顯示,三維形貌顯示等功

2、能. 論文完成的主要工作: 1.對(duì)納米級(jí)微表面相移干涉檢測(cè)儀進(jìn)行了圖像拼接功能的擴(kuò)展,擴(kuò)大了檢測(cè)儀的測(cè)量范圍,可對(duì)較大的被測(cè)面進(jìn)行測(cè)量.敘述了三維掃描系統(tǒng)的硬件實(shí)現(xiàn),分析了二維水平掃描系統(tǒng)的掃描精度和垂直壓電陶瓷微位移系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)和精度. 2.通過圖像處理,將多次測(cè)量的結(jié)果拼接成一幅完整的圖像.對(duì)圖像拼接的原理進(jìn)行了詳細(xì)的介紹,并對(duì)拼接過程中的各個(gè)步驟進(jìn)行了詳細(xì)的分析.提出了自己的拼接算法,并給出實(shí)際拼接結(jié)果.

3、 3.對(duì)干涉圖像進(jìn)行預(yù)處理.討論了各種去噪方法,并進(jìn)行比較,針對(duì)本干涉儀的實(shí)際情況,提出自己的去噪方法. 4.軟件設(shè)計(jì)采用面向?qū)ο蟮乃枷?根據(jù)系統(tǒng)要求設(shè)計(jì)了軟件的整體模塊化結(jié)構(gòu),集成了數(shù)據(jù)采集,形貌顯示,圖像拼接等功能.系統(tǒng)軟件基于Windows操作系統(tǒng),采用Visual C++6.0作為開發(fā)平臺(tái),采用調(diào)用Matlab和調(diào)用opengl兩種方法,顯示恢復(fù)后的三維形貌,并實(shí)時(shí)顯示被測(cè)面的表面高度和特征. 本文創(chuàng)新之處: