兩軸超聲電機定位平臺的設計與實現.pdf

1、本研究論文基于超聲電機為驅動器，設計實現了兩軸定位平臺系統(tǒng)。鑒于現今傳動系統(tǒng)大部分采用伺服機構搭配滾珠絲杠做為定位機制，而此種定位機制存在著空程差的問題，同時制作精度的要求使價格居高不下；為了使避免電磁干擾、提高定位精度、機構易于薄型化設計以及降低制作成本，本論文使用了薄片型超聲電機來直接驅動平臺，配和控制器的設計，使其具有長行程直線位移功能而且定位精度可達到微米級。
　　研究流程首先設計超聲電機與兩軸平臺的機械結構，對超聲電機的

2、性能進行檢測并設定驅動參數。然后實際測試超聲電機驅動平臺的各種動態(tài)特性，并設計單輸入模糊控制器作為定位控制。最后整合至兩軸定位平臺機電系統(tǒng)中，測試整體機構及定位的性能，如定位精確度的測試、平臺速度、步進位移量，調整系統(tǒng)參數使其具有抗噪聲干擾能力，以達到精密、穩(wěn)定、快速的定位目的。由本實驗結果得知，本文所使用的兩軸定位平臺和單輸入模糊控制器的設計，能使平臺定位精度達0.5μm，而且本論文所設計的超聲電機還具有步進電機的功能，最小的步進位移