特種成膜設(shè)備真空容器設(shè)計(jì)及有限元分析.pdf

1、真空氣相成膜法分為物理氣相沉積法和化學(xué)氣相沉積法。由于它具有膜層牢固、膜厚均勻、純度高、不產(chǎn)生對(duì)環(huán)境污染的廢液等特點(diǎn)，在薄膜制備和研究中，得到了廣泛的應(yīng)用。 本文的主要工作是特種成膜設(shè)備的真空容器研制，在對(duì)特種成膜設(shè)備物理要求與真空容器設(shè)計(jì)要求分析的基礎(chǔ)上，完成了復(fù)雜的大型矩形箱體式真空容器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，包括選定主材、冷卻方式、結(jié)構(gòu)形式，利用Pro/E軟件完成了復(fù)雜的真空容器詳細(xì)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等。在真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)方面，則包

2、括主泵選型及抽速確定，提出主泵返油污染的控制技術(shù)，選配了前級(jí)泵組，估算了抽氣時(shí)間等。 使用APDL優(yōu)化方法確定真空容器的主要強(qiáng)度尺寸：夾套內(nèi)外兩層的殼體厚度S1，S2，加強(qiáng)筋的厚度S3，前面門(mén)板的厚度S4，得到了優(yōu)化后的結(jié)果，大大的節(jié)約了貴重的不銹鋼材料，減低了成本。 隨研究工作的進(jìn)展，真空容器的結(jié)構(gòu)變得越來(lái)越復(fù)雜，傳統(tǒng)的計(jì)算方法根本無(wú)法對(duì)其應(yīng)力分布和強(qiáng)度情況進(jìn)行較為準(zhǔn)確的分析。 本文應(yīng)用有限元分析法這一先進(jìn)的技