微機電系統(tǒng)諧振器面內(nèi)運動檢測的激光多普勒方法.pdf

1、隨著微機電系統(tǒng)技術(shù)的迅速發(fā)展，對器件運動性能檢測的需求日益迫切。本論文旨在探討微機電系統(tǒng)器件的運動檢測技術(shù)，主要研究了激光差動多普勒方法在面內(nèi)運動檢測中的應用。 論文建立了激光差動多普勒測量系統(tǒng)，用于檢測諧振器在平面內(nèi)的振動，系統(tǒng)的測量光軸垂直于被測速度。該系統(tǒng)主要由光學部分、信號處理電路、數(shù)據(jù)分析程序和微動調(diào)整裝置等組成。光學系統(tǒng)中，在差動多普勒測量光路的基礎(chǔ)上加入了CCD監(jiān)控光路，用監(jiān)視器觀察被測器件調(diào)整過程和振動情況。電路

2、系統(tǒng)從光學系統(tǒng)輸出的高頻信號中提取了多普勒信號。在計算機數(shù)據(jù)處理程序中，利用頻譜分析、計數(shù)法等方法計算了諧振器的速度，并積分得到位移曲線。 測量了電動機轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)速和加速度計校準儀的往復振動，驗證了實驗系統(tǒng)的可靠性和準確性。分別測量了四個諧振器的振動情況，得到了活動梳齒的諧振頻率、瞬時速度和位移等，并用計算機顯微視覺方法進行了比對實驗。 論文研究了被測諧振器的調(diào)整和定位方法，并詳細分析了在諧振器運動檢測時，測量系統(tǒng)中可能出現(xiàn)