表面形貌軟件測量標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)絡(luò)化應(yīng)用系統(tǒng)開發(fā).pdf

1、分析評定軟件是表面形貌測量儀器的重要組成部分，和儀器的硬件一樣，其可靠性、準(zhǔn)確性是實(shí)現(xiàn)表面形貌準(zhǔn)確測量的基礎(chǔ)。實(shí)際中，雖然目前大部分生產(chǎn)商在表面形貌分析評定軟件開發(fā)中都采用國際標(biāo)準(zhǔn)ISO 4287，但標(biāo)準(zhǔn)中參數(shù)定義的不完全性，模糊及歧義性，導(dǎo)致即使是同組數(shù)據(jù)輸入不同的評定軟件也會得到不同的計算參數(shù)評定結(jié)果。為此，產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)系列標(biāo)準(zhǔn)ISO 5436-2(2001)提出了表面形貌軟件測量標(biāo)準(zhǔn)，以推動表面形貌儀器分析評定軟件的

2、準(zhǔn)確性校驗(yàn)。本文以ISO 5436-2為基礎(chǔ)，研究開發(fā)了表面形貌軟件測量標(biāo)準(zhǔn)的網(wǎng)絡(luò)化應(yīng)用系統(tǒng)。 本文首先探討了表面形貌軟件測量標(biāo)準(zhǔn)研究的背景、理論基礎(chǔ)。采用同一數(shù)據(jù)對來自不同表面儀器的內(nèi)置軟件及英國國家物理實(shí)驗(yàn)室(NPL)和美國國家標(biāo)準(zhǔn)局(NIST)開發(fā)的表面形貌軟件校驗(yàn)系統(tǒng)進(jìn)行結(jié)果對比，由該實(shí)例中參數(shù)評定結(jié)果的差異出發(fā)，研究分析了ISO 4287中參數(shù)定義的不完全性、模糊性、歧義性及濾波過程中的不確定性問題。 其次，探

3、討了ISO 5436定義的類型F1-標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)應(yīng)包含的種類及其產(chǎn)生方法和產(chǎn)生機(jī)理，研究了標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的文件格式，包括ASCII，SDF(Surface File Format)，SMD(Softgauge File Format)格式，在此基礎(chǔ)上編制了文件格式的轉(zhuǎn)換程序以方便用戶進(jìn)行不同數(shù)據(jù)文件格式之間的轉(zhuǎn)換。 第三，標(biāo)準(zhǔn)中的一些參數(shù)是以連續(xù)形式定義的，而實(shí)際測量得到的是離散采樣值，針對這一問題，采用三次自然樣條插值的方法對采樣離散值