表面形貌軟件測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)絡(luò)化應(yīng)用系統(tǒng)開(kāi)發(fā).pdf

1、分析評(píng)定軟件是表面形貌測(cè)量?jī)x器的重要組成部分，和儀器的硬件一樣，其可靠性、準(zhǔn)確性是實(shí)現(xiàn)表面形貌準(zhǔn)確測(cè)量的基礎(chǔ)。實(shí)際中，雖然目前大部分生產(chǎn)商在表面形貌分析評(píng)定軟件開(kāi)發(fā)中都采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 4287，但標(biāo)準(zhǔn)中參數(shù)定義的不完全性，模糊及歧義性，導(dǎo)致即使是同組數(shù)據(jù)輸入不同的評(píng)定軟件也會(huì)得到不同的計(jì)算參數(shù)評(píng)定結(jié)果。為此，產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)系列標(biāo)準(zhǔn)ISO 5436-2(2001)提出了表面形貌軟件測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)，以推動(dòng)表面形貌儀器分析評(píng)定軟件的

2、準(zhǔn)確性校驗(yàn)。本文以ISO 5436-2為基礎(chǔ)，研究開(kāi)發(fā)了表面形貌軟件測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)的網(wǎng)絡(luò)化應(yīng)用系統(tǒng)。 本文首先探討了表面形貌軟件測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)研究的背景、理論基礎(chǔ)。采用同一數(shù)據(jù)對(duì)來(lái)自不同表面儀器的內(nèi)置軟件及英國(guó)國(guó)家物理實(shí)驗(yàn)室(NPL)和美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)局(NIST)開(kāi)發(fā)的表面形貌軟件校驗(yàn)系統(tǒng)進(jìn)行結(jié)果對(duì)比，由該實(shí)例中參數(shù)評(píng)定結(jié)果的差異出發(fā)，研究分析了ISO 4287中參數(shù)定義的不完全性、模糊性、歧義性及濾波過(guò)程中的不確定性問(wèn)題。 其次，探

3、討了ISO 5436定義的類(lèi)型F1-標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)應(yīng)包含的種類(lèi)及其產(chǎn)生方法和產(chǎn)生機(jī)理，研究了標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)的文件格式，包括ASCII，SDF(Surface File Format)，SMD(Softgauge File Format)格式，在此基礎(chǔ)上編制了文件格式的轉(zhuǎn)換程序以方便用戶(hù)進(jìn)行不同數(shù)據(jù)文件格式之間的轉(zhuǎn)換。 第三，標(biāo)準(zhǔn)中的一些參數(shù)是以連續(xù)形式定義的，而實(shí)際測(cè)量得到的是離散采樣值，針對(duì)這一問(wèn)題，采用三次自然樣條插值的方法對(duì)采樣離散值