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文檔簡介
1、本論文主要研究了極紫外波段Mo/Si多層膜反射鏡在帶電粒子輻射下的反射率變化情況。 從輻射損傷的基本理論出發(fā),討論了帶電粒子與物質的相互作用機理,包括粒子與點陣原子的碰撞、散射截面、離子的能量損失及離子對不同材料產生的輻射效應。 設計并建立了一套的反射率測量裝置,主要由激光等離子體光源、凹面光柵單色儀和光電信號探測系統(tǒng)等組成,分別討論了各組成部分在反射率測量中的有利方面。解決了影響測量穩(wěn)定性的問題,使測量達到較好的重復性
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