極紫外波段Mo-Si多層膜反射鏡輻射特性實(shí)驗(yàn)研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本論文主要研究了極紫外波段Mo/Si多層膜反射鏡在帶電粒子輻射下的反射率變化情況。 從輻射損傷的基本理論出發(fā)，討論了帶電粒子與物質(zhì)的相互作用機(jī)理，包括粒子與點(diǎn)陣原子的碰撞、散射截面、離子的能量損失及離子對(duì)不同材料產(chǎn)生的輻射效應(yīng)。 設(shè)計(jì)并建立了一套的反射率測量裝置，主要由激光等離子體光源、凹面光柵單色儀和光電信號(hào)探測系統(tǒng)等組成，分別討論了各組成部分在反射率測量中的有利方面。解決了影響測量穩(wěn)定性的問題，使測量達(dá)到較好的重復(fù)性

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