級(jí)聯(lián)縮微微納米制造技術(shù)研究.pdf

1、本文綜述了光蝕刻、軟蝕刻、納米蝕刻、掃描探針蝕刻、激光技術(shù)等作為微納米制造技術(shù)和高通量裝置制造技術(shù)使用的原理、應(yīng)用領(lǐng)域及其局限，其次介紹了級(jí)聯(lián)縮微技術(shù)所涉及的重要載體材料橡膠等彈性軟材料及橡膠工業(yè)的發(fā)現(xiàn)、發(fā)展歷史，橡膠種類及其主要應(yīng)用，依據(jù)級(jí)聯(lián)縮微技術(shù)的要求對(duì)軟材料的新用途和開發(fā)高性能的新型橡膠材料作了展望。級(jí)聯(lián)縮微技術(shù)不僅從技術(shù)上對(duì)現(xiàn)有的高通量裝置和微納米結(jié)構(gòu)的各類制造技術(shù)提出挑戰(zhàn)，同時(shí)也為傳統(tǒng)的橡膠材料提出新的用途和挑戰(zhàn)。在級(jí)聯(lián)縮微

2、技術(shù)卉發(fā)過程中，發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有的彈性材料不是理想的轉(zhuǎn)印介質(zhì)，從納米水平上研究了彈性材料在不同拉伸倍率下的原子力顯微學(xué)。研究結(jié)果揭示了高倍率拉伸狀態(tài)下膜表面的結(jié)構(gòu)特征，為將來新型橡膠材料的發(fā)展和膜表面改性提供理論依據(jù)。 介紹級(jí)聯(lián)縮微微納米制造技術(shù)思想的起源、原理、特征、操作手續(xù)以及在微納米制造、多元材料的同步操作和抗體、DNA微陣列等生物芯片制造等領(lǐng)域的應(yīng)用。通過改進(jìn)生物分子及其它水溶性材料溶液的物理性能，成功實(shí)現(xiàn)了實(shí)物材料在彈性膜表面

3、間的多次轉(zhuǎn)印和多次接連縮小，使原始直徑尺寸為0.6毫米的點(diǎn)陣點(diǎn)經(jīng)過幾次接續(xù)縮小后，直徑達(dá)到約5微米，點(diǎn)中心距達(dá)到約10微米，縮小的總倍率是彈性膜材料的拉伸倍率的指數(shù)冪。中心距和細(xì)節(jié)尺寸以指數(shù)形式減小，密度以指數(shù)冪形式增加。利用彈性膜的一維拉伸，原始線寬為2.2毫米的多彩平行線經(jīng)過幾次縮小后，線寬達(dá)到10微米左右。級(jí)聯(lián)縮微技術(shù)生成的寡核苷陣列和抗原抗體陣列的雜交實(shí)驗(yàn)表明：生物分子經(jīng)過幾次轉(zhuǎn)印轉(zhuǎn)移后，仍然能夠進(jìn)行專一反應(yīng)，在轉(zhuǎn)移過程中，實(shí)物

4、分子數(shù)量的減少不影響結(jié)果檢出，并不要求較常規(guī)更高的原始濃度和上樣量。級(jí)聯(lián)縮微技術(shù)作為生物芯片的制造平臺(tái)，既可以進(jìn)行高密度芯片制造又無樣品種類限制，因此是一潛在的生物芯片制造的通用技術(shù)。 澆鑄硅橡膠于去保護(hù)層的新光盤表面制備微米級(jí)周期的模板，結(jié)合軟蝕刻技術(shù)，將有機(jī)小分了或牛血清白蛋白轉(zhuǎn)移到一維拉伸的橡膠表面，分別產(chǎn)生亞微米和亞100納米周期的微納米平行線結(jié)構(gòu)，在橡膠或檢測(cè)方法帶來的問題解決后，級(jí)聯(lián)縮微技術(shù)將成為潛在的微納米結(jié)構(gòu)制造