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文檔簡介
1、微環(huán)諧振腔具有高品質(zhì)因數(shù)、低成本的特點。由于它基于平面波導(dǎo)結(jié)構(gòu),因而易于同其它光電芯片和微流控芯片集成,并且進行化學(xué)表面處理。另外,諧振效應(yīng)的引入能夠在提高靈敏度的同時大大縮小器件的尺寸,所以基于微環(huán)諧振腔的生物傳感器是一種高靈敏度的,可對微量生物物質(zhì)進行探測的傳感器。本文在國家自然科學(xué)基金的資助下,對微環(huán)生物傳感器的理論模型和性能參數(shù)做了系統(tǒng)性的分析研究,完成的主要工作有以下幾點:
(1)基于模式耦合理論和時域有限差分法
2、,深入研究直波導(dǎo)與彎曲波導(dǎo)的耦合性質(zhì),并在此基礎(chǔ)上建立微環(huán)諧振腔的理論模型,得到器件的主要參數(shù)如自由頻譜區(qū)間FSR和品質(zhì)因數(shù)Q的表達式;
(2)根據(jù)微環(huán)傳感器的工作原理,將總靈敏度分為波導(dǎo)靈敏度和器件靈敏度,著重分析器件靈敏度與傳輸因子s、自耦合因子t、以及工作波長λ的關(guān)系,并結(jié)合上述參數(shù)與其他結(jié)構(gòu)參數(shù)的關(guān)系,提出具體的設(shè)計和優(yōu)化方案;
(3)利用高斯函數(shù)對原洛倫茲響應(yīng)譜的近似,得到器件品質(zhì)因數(shù)Q與器件靈敏度
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