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文檔簡(jiǎn)介
1、本文采用收集從活性屏上濺射下來的粒子,并對(duì)其進(jìn)行顯微分析的方法,研究了活性屏粒子滲氮的機(jī)理以及在特定條件下活性屏離子滲氮的可行性,同時(shí)對(duì)高速鋼活性屏離子滲氮處理的應(yīng)用基礎(chǔ)進(jìn)行了研究。通過先進(jìn)的測(cè)試儀器和分析方法,如場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(SEM)、電子能譜儀(EDX)、X射線衍射儀(XRD)等,觀察了收集粒子的表面形貌、分析了粒子的成分組成和組織結(jié)構(gòu)等,并用金相顯微鏡(OM)、顯微硬度計(jì)分析了滲氮層的金相組織和滲氮層的顯微硬度。試驗(yàn)結(jié)果表明:
2、 活性屏離子滲氮是一個(gè)物理吸附—脫附的過程。從活性屏上濺射下來的納米數(shù)量級(jí)的FexN(x>2)粒子,在向工件表面遷移的過程中,粒子表面吸附了等離子體空間的氮原子,然后沉積在工件的表面上。在一定的工件表面溫度下,粒子表面物理吸附的氮原子發(fā)生脫附,脫附下來的活性氮原子滲入基體的內(nèi)部,形成滲氮層。在純氮?dú)夥罩羞M(jìn)行活性屏離子滲氮處理時(shí),放電電壓是一個(gè)關(guān)鍵的工藝參數(shù)。只有當(dāng)放電電壓高于某一定的閾值后,才能在純氮?dú)夥罩羞M(jìn)行活性屏離子滲氮處理。
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