SO型芯片引腳共面性在線光電質(zhì)檢儀的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、SO(Small Out-line)型芯片的引腳共面性(平整度)直接關(guān)系到后續(xù)回流焊的可靠性。目前大部分廠家采用人工目檢的方法對(duì)SO型芯片共面性進(jìn)行檢測(cè),但隨著生產(chǎn)廠家生產(chǎn)速度的提高和上游組裝廠家對(duì)引腳共面性精度要求的提高,人工目檢的弊端越來(lái)越凸現(xiàn)。
　　用于SO型芯片引腳共面性的快速在線質(zhì)檢儀器技術(shù)一直被日本、德國(guó)等少數(shù)幾個(gè)國(guó)家壟斷,因而造成該類(lèi)儀器價(jià)格昂貴,難以在生產(chǎn)線上推廣。為了滿(mǎn)足國(guó)內(nèi)廠家對(duì)經(jīng)濟(jì)型在線共面性檢測(cè)的需求,本文

2、提出了一種集光、機(jī)、電、圖像處理技術(shù)于一體的儀器設(shè)計(jì)方案。本文闡述了該儀器的檢測(cè)原理與設(shè)計(jì)方法,并最后創(chuàng)新地成功研制成了商品樣機(jī),為我國(guó)微電子制造業(yè)提供了一種新機(jī)型,對(duì)我國(guó)微電子行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步做出了積極的貢獻(xiàn)。
　　本文是作者學(xué)位研究成果的總結(jié),作者對(duì)以下幾個(gè)主要方面進(jìn)行了研究:
　　1、詳細(xì)論述了匹配該檢測(cè)儀器的大視場(chǎng)(視場(chǎng)直徑達(dá)28mm),高分辨率攝錄物鏡的設(shè)計(jì)方法,并運(yùn)用MTF函數(shù)對(duì)設(shè)計(jì)出的物鏡進(jìn)行評(píng)價(jià)。最后闡述了基于

3、價(jià)值工程原理的CCD的選擇方法。
　　2、設(shè)計(jì)了與光學(xué)系統(tǒng)相匹配的照明系統(tǒng),并對(duì)雜散光的產(chǎn)生以及傳播途徑進(jìn)行了分析,提出了幾種處理雜散光的有效辦法。
　　3、通過(guò)分析比較,選擇了適合本儀器的運(yùn)動(dòng)方案,闡述了基于該方案的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的工作原理,并對(duì)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)及其細(xì)分原理和電路設(shè)計(jì)進(jìn)行了詳細(xì)的論述。
　　4、介紹了圖像處理的執(zhí)行步驟,闡述了圖像的獲取和預(yù)處理,并詳細(xì)論述了引腳端面和基準(zhǔn)端面的掃描識(shí)別方法。
　　在近