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1、東南大學(xué)碩士學(xué)位論文0.5微米邏輯工藝實(shí)現(xiàn)嵌入式OTP器件特征研究姓名:房世林申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專業(yè):軟件工程(集成電路)指導(dǎo)教師:時(shí)龍興滕敬信20070615東南大掌硬士學(xué)位論文AbsttactWiththedevelopmentoftheintegratedcircuits,especiallythedevelopmentofthegOC,theapplicationoftheembeddedmemoryiDtheimegrated
2、c㈣tsbeeom口,mandJnomOTPwhichiscompatiblewiththestandardCMOSprocess,isOlleofthemostexcellenttechnologiesInordert0keeptheUghperf㈣ofOTPtheprocesswiltbeverycomplexSO∞tOthe11ighcostSoitisvery皿portmtofindthecompatiblepl_clCeSSi
3、nordertonxlIlcethecostoftbelCswithOFFAsinglepolyPMOSbasednonvolatilememorycellfllllycompatiblewith05umstmldardCMOSfabricationproc∞∞sispr∞mIcditconsistsofaPMOS∞cBsmmsismrinseries晰tIlaPMOStransislorwhosegazeisleftfloatingT
4、hecellconfigurationeliminatestherequirementofacontrolgateandthereforembefabricatedwithoutusingdoublepoly鯽esThecellsavesercacomparedtoothersinglepolynonvolatilememorycellsbasedOilCMOSapproacheswhichrequzrebothNMOSandPMOSt
5、nmsistorsThecellswmfabricatedmiJ瞎a05mnsmnda柑CMOgprocessofCSMCFABIThepfogrmmingmechanismofthecellishotelectroninjectionThedeviced礙盯扯m:risticshowsthinThe—q妒mmIiIlgoI硎徹canbeperfom弛d砸programmingvoltagesaroundlVds|=Ⅳ,and廿leof
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