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文檔簡介
1、上海交通大學碩士學位論文12寸半導體測試廠自動化研究姓名:郭旭棋申請學位級別:碩士專業(yè):軟件工程指導教師:汪輝胡毓麟20071022圖4.7FOUP與OpenCassette之差異圖..............................................................41圖4.88寸與12寸Prober測試探針機臺之差異圖.......................................
2、.....42圖4.9半導體設備的通訊協(xié)議架構圖...................................................................44圖4.10GEM的功能范圍圖......................................................................................55圖4.11FOUPON程序流程圖.........
3、.........................................................................59圖4.12LoadWafer程序流程圖............................................................................61圖4.13StartWafer程序流程圖............................
4、..............................................62圖4.14ProcessStart程序流程圖......................................................................63圖4.15ProcessComplete程序流程圖.....................................................
5、...........64圖4.16FOUPUnload程序流程圖..........................................................................65圖4.1712寸測試探針機臺FailDieRetestFunction架構圖......................66圖4.18TSKUF3000Prober模擬測試架構圖......................
6、...............................68圖4.19MES計算機Hostname設定圖..................................................................69圖4.20EAP計算機網(wǎng)卡1設定圖..........................................................................69圖4.2
7、1EAP計算機網(wǎng)卡2設定圖..........................................................................70圖4.22SECS通訊協(xié)議測試設定圖........................................................................70圖4.23通訊測試結果圖...........................
8、..............................................................71圖4.24Prober實體通訊架構圖..............................................................................71圖4.25TSKUF3000Prober機臺通訊之結果圖..............................
9、....................72圖4.26MES計算機之通訊1結果圖.....................................................................72圖4.27MES計算機之通訊2結果圖.....................................................................73圖4.28EAP計算機之通訊結果圖...
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