zeiss場發(fā)射電鏡優(yōu)勢

1、ZEISS場發(fā)射掃描電子顯微鏡的優(yōu)勢1.肖特基（Schottky）場發(fā)射電子源（熱場發(fā)射）。ZEISS場發(fā)射掃描電子顯微鏡采用了肖特基場發(fā)射電子(SFE)源。其特點是：探針電流大，容易進行BSE、EDS、WDS、EBSD、CL等分析。電子束噪聲較小，1%。束流穩(wěn)定度高，優(yōu)于0.2%h。適宜于長時間的各種精確分析。對環(huán)境、樣品要求較低。使用方便、維護簡單，且工作穩(wěn)定。肖特基場發(fā)射電子槍的發(fā)射面積是冷場電子槍的100倍左右，可提供高得多的探

2、測電流來滿足使用需要；肖特基場發(fā)射（SFE）源的能量發(fā)散于冷場發(fā)射（CFE）源類似，但發(fā)射電流卻高出50多倍；而較大的虛擬源尺寸，可以將振動的敏感性大幅度降低。高亮度的肖特基場發(fā)射（SFE）源結(jié)合創(chuàng)新的GEMINI鏡筒提供了用于超高分辨率的小束斑尺寸，同時具有高的襯度和高的束流。2.專利的GEMINI電子光學(xué)鏡筒，無交叉光路設(shè)計。在傳統(tǒng)的設(shè)計中，在電子束交叉處容易發(fā)生能量擴散，在束流能量極低時工作就比較困難。但目前許多應(yīng)用領(lǐng)域都要求采用

3、極低的束流能量。ZIESS場發(fā)射掃描電鏡運用了第三代改進型的GEMINI鏡筒，其光路設(shè)計先進、獨特、性能優(yōu)異。聚光鏡、電磁靜電復(fù)合式物鏡構(gòu)成一套電子束匯聚系統(tǒng)，鏡筒內(nèi)無電子束交叉點（在鏡筒中的電子束路徑上，沒有任何的電子中間交叉）。避免了Boersch效應(yīng)（即由于電子帶有相同的負(fù)電荷而互相排斥，造成不能聚集在一起及其能量互相交換而造成的能量分布增大的現(xiàn)象）的影響，使匯聚在樣品上的焦點更接近理想的情況。這樣有利于減小像差，提高分辨率，增強

4、圖像的襯度和清晰度。3.電子束加速器傳統(tǒng)交叉斑光路平行斑光路★Gemini鏡筒沒有交叉點★Gemini提供一個超短的光學(xué)系統(tǒng)★它總是具有高性能★這一方法是對電子束的最好保護★最重要的是沒有亮度損失！電磁透鏡與靜電透鏡的組合等效于一個三片型光學(xué)透鏡組。增大了試樣處的入射電子束孔徑角，進而提高分辨率；透鏡控制系統(tǒng)集成有聚焦控制功能，無論工作距離有多長、所選能量多大、二者的組合方式如何，都能隨時選出最佳的電子束孔徑，即使分辨率極限下，也能提供

5、出色的圖像襯度。具有較好的消像差功能，可使電鏡更清晰成像。GEMINI透鏡中集成有一個單級電子束掃描系統(tǒng)，其位于靜電透鏡縫隙的前方，最大限度地降低了橫向色差及其它掃面色差。在TV掃描速度工作時，低放大倍數(shù)模式與高分辨率模式之間無需切換。它又是探測器的一部分，靜電透鏡將從樣品上發(fā)出的二次電子加速，引向Inlens探測器（探測器材料不存在老化效應(yīng)），電磁透鏡將其聚焦，匯聚在Inlens探測器的閃爍體上，提高了二次電子的探測效率。8.可對鐵磁

6、體樣品進行高分辨率成像。GEMINI物鏡有一個高性能的電磁透鏡及一個附著的靜電透鏡組成?？朔藗鹘y(tǒng)物鏡設(shè)計中的問題把試樣浸沒在磁場中，從而導(dǎo)致了磁性樣品無法成像。GEMINI磁透鏡采用特殊形狀，最大限度地降低了試樣處的磁場，這樣做極短工作距離下即可對順、反、鐵磁性樣品進行高分辨路成像。由于采用了電磁、靜電復(fù)合式物鏡，雜散磁場極小，對任何固體材料都可以實現(xiàn)高分辨觀察，包括金屬材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、高分子材料等；同時對任何材料都沒有局