zeiss supra55掃描電鏡操作使用

1、ZeissSupra55(VP)掃描電子顯微鏡掃描電子顯微鏡簡明操作指南簡明操作指南一、開機說明一、開機說明冷啟動步驟冷啟動步驟1、啟動啟動UPS打開墻上空氣開關，確認UPS后面電池開關打開，按前面面板上On鍵至兩個綠燈亮。2、啟動循環(huán)水冷機。啟動循環(huán)水冷機。按On鍵，確認水泵1和制冷指示燈亮。檢查出水口壓力在2～3bar。出水口壓力可由壓力表下方閥門調節(jié)。若有報警，檢查水位，按Res鍵。3、啟動空氣壓縮機。啟動空氣壓縮機。確認空氣壓縮

2、機上啟動閥門上開關為“I”狀態(tài)。檢查輸出氣壓為5～6bar。4、確認主機后兩個電源開關狀態(tài)為確認主機后兩個電源開關狀態(tài)為On。此時，主機前面板上紅燈亮。5、按下黃鍵。按下黃鍵。說明：前級真空泵進入工作狀態(tài)，分子泵、潘寧計和離子泵自動順序啟動。6、按下綠鍵。按下綠鍵。按下綠鍵后，電腦會自動啟動，輸入計算機密碼：7、啟動啟動SmartSEM軟件。軟件。用戶名：system密碼：8、檢查真空值，等待真空就緒。檢查真空值，等待真空就緒。注意：注

3、意：當SystemVacuum2105mBar時，會自動打開CIV閥門(columnisolationvalve)，并啟動離子泵。當GunVacuum=5109mBar時，可啟動燈絲。若長期停機，需做烘烤。9、開啟燈絲。開啟燈絲。10、開、開TV，檢查樣品臺。，檢查樣品臺。11、裝樣品、裝樣品(見第二部分見第二部分)。12、加高壓、加高壓(EHT)。13、觀察樣品。、觀察樣品。待機狀態(tài)待機狀態(tài)1、關閉高壓關閉高壓(EHT)。2、關閉關閉

4、SmartSEM軟件。軟件。注意：注意：分兩步，先關用戶界面UserInterface，后關后臺程序EMServer。3、關Windows。4、必要時，關能譜、必要時，關能譜、EBSD。5、按下黃鍵按下黃鍵此時，電子光學系統(tǒng)、樣品臺及檢測系統(tǒng)電源關閉。電鏡真空系統(tǒng)和燈絲繼續(xù)工作。待機狀態(tài)啟動待機狀態(tài)啟動1、按下綠鍵。按下綠鍵。按下綠鍵后，電腦會自動啟動，輸入計算機密碼：8、抽真空。抽真空。點擊Pump，等待真空就緒(留意Vacuum面板

5、上真空狀態(tài))。等待過程中，可先移動樣品臺初步定位樣品。9、換樣完成。換樣完成。加高壓，觀察樣品三、成像初步三、成像初步1、定位樣品。定位樣品。打開TV，移動樣品臺。升至工作距離約在5~10mm處，平移對準樣品。可打開stagenavigation幫助定位。2、開高壓。開高壓。根據檢測要求和樣品特性，設定加速電壓；3、觀察樣品，定位觀察區(qū)。觀察樣品，定位觀察區(qū)。全屏快速掃描（點擊工具欄上）；選擇Inlens或SE2探頭；縮小放大倍數至最小

6、；聚焦并調整亮度和對比度（Tab鍵可設置粗調Coarse或細調Fine）；讀取WD數值；必要時升降樣品臺，WD常用5～10mm；移動樣品臺X、Y，或使用CentrePoint(CtrlTab鍵)定位；聚焦、放大至～5kX、再聚焦、定位；4、必要時，調光闌對中。必要時，調光闌對中。選區(qū)快速掃描，Aperture面板上，選上Wobble，調ApertureX和Y，消除圖像水平晃動。完成后取消Wobble。5、消像散。消像散。選區(qū)掃描，依次調

7、StigmationX、Y和聚焦，直到圖像最清晰。6、成像。成像。進一步放大至～50kX、并進一步聚焦和消像散；全屏掃描，調亮度和對比度；用BeamShift或Ctrl＋Tab定位成像位置；點擊Mag設置所需放大倍數；Scanning面板選擇消噪模式（一般用LineAvg）；選擇掃描速度和N值（使cycletime在40s左右為宜）；確認Freezeon＝endframe；點擊Freeze；等待掃描完成。7、存儲。存儲。點擊鼠標中鍵（滾

8、輪）或右鍵，彈出快捷菜單→Sendto→Tifffile；設置文件夾，取文件名，設置文件名后綴，點Save；同一樣品圖片再次存儲，直接左鍵點擊工具欄上按鈕。存儲結束后，點擊unfreeze，點擊快速掃描。四、基本應用四、基本應用1、制樣技巧。制樣技巧。要求樣品干燥；各樣品觀察點高度基本一致；確認樣品不會脫落，并用洗耳球吹一下；高真空模式觀察需確保樣品導電性和接地。干燥方法：對一般潮濕樣品，直接晾干或用烘箱烘干。對生物樣品，先用液氮冷凍后