真空技術26923

1、57第六章管路接頭與閥門在前面章節(jié)中，我們著重在真空泵，壓力量測，然而在組成成真空系統(tǒng)時，腔體與腔體之件的連接，或是腔體與泵的連接也是很重要的問題。管路的連接方式牽扯到如何在連接后不會漏真空，同時也必須考慮一旦真空度到達時，或是有其它用途時，如何隔離真空。閥門的選取以及真空管路的密合是這個章節(jié)所欲介紹的重點閥門（Valve)閥門是用來控制氣體流通的門戶，同時也是阻隔不同壓力區(qū)的腔體，它的重點在于必須能夠承受壓力不會變形，以及閥門關門的機

2、制如何？閥門的材料大致分為黃銅，鋁以及不銹鋼的材質。黃銅的閥門都用在feline，或是不具有腐蝕性的氣體環(huán)境。鋁閥門所用的壓力范圍涵蓋全部，但是若牽連腐蝕性的氣體，通常以不銹鋼的閥門取代。閥門與其它管件連接時，其密合的方式有采用oring以及金屬式（俗稱gasket))的密合，而閥門本身在密合時（俗稱flapper)也區(qū)分為金屬和Oring兩種，金屬的密合可耐到300C，而Oring則視種類而定，若是BunaN只能耐80C，若是Vito

3、n則是可以耐到200C。一般而言閥門可分為下列數種GatevalvesRectangularvalvesRightangleblockvalvesStraightthroughvalvesBallvalvesInlinevalvesButterflyvalvesVariableconductancecontrollersLeakvalvesGatevalve59這種閥有Oring密合以及金屬密合兩種。通常用在feline，UHVshut

4、off閥，sptionpump的閥。其氣導為其Straightthroughvalves的一半，圖6.3為其外貌.Straightthroughvalves該閥最大的特色在于氣體流通時，完全不必繞彎。圖6.4為其外貌圖Ballvalves該種閥僅適合用在低真空的環(huán)境下，在高真空環(huán)境下該閥容易泄漏，圖6.5為其外貌圖。圖6.3Rightangleblockvalves的外貌與其氣體流通之情形圖6.4Straightthroughvalve